精确高效的渐变结构片上螺旋电感的电感值分析技术.pdfVIP

第 27 卷 　第 9 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 27 　No . 9 2006 年 9 月 C H IN ES E J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS Sep . ,2006 精确高效的渐变结构片上螺旋电感 的电感值分析技术 1 ,2 1 ,2 , 1 1 1 1 3 3 3 罗天星 　石艳玲 　丁艳芳 　唐深群 　刘 　贇 　王 　勇 　朱 　骏 　陈寿面 　赵宇航 ( 1 华东师范大学信息学院电子系 , 上海 　200062) (2 传感技术联合国家重点实验室 , 上海 　200050) ( 3 上海集成电路研发中心, 上海 　20 1203)