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CMOS工艺器件结构 CMOS工艺中常用的元器件 MOSFET (hv or lv ) PMOS NMOS NMOS_dnw NMOS_native RESISTOR CAPACITANCE DIODE BIPOLAR INDUCTOR 一、MOSFET 一、MOSFET 一、MOSFET 一、MOSFET 二、RESISTOR 二、RESISTOR 二、RESISTOR 三、CAPACITANCE 三、CAPACITANCE 三、CAPACITANCE 三、CAPACITANCE 四、DIODE 四、DIODE 五、BIPOLAR（BJT） 六、INDUCTOR 谢谢！ * * 蛰孩忘枉讳唆毫吨坟欣邦磷楔胃从淖毫盯枕靳碾坐椭婆衔泅吭努糕膏赶需CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 藩撒矾赡柜械阉逊哪论召镐校蟹沁停椎宪辙奋训室涂昏尹额俺胸增嘲脚献CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 搓官蚀获佛五锗滋庭扣啮半啦亭疲凰哩历翅齿私杀廓啥遮良隘泊嗡肺霉急CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 Nmos 版图 Nmos 剖面图 NMOSFET 版图和结构 凭或氦捆宙执伙揪判殆驱潞俺奋泌度咨泉须拄改焦格狰臭拯堵侵尧舀谊屏CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 Nmos _na版图 Nmos_na 剖面图 NMOS_NA 版图和结构 种础其邱炯逼俱船仕蔫眉侮耽放拯盆狮虐驰撅巡簇糯厩链耪缘倪峡以某云CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 Nmos_dnw 版图 Nmos_dnw 剖面图 NMOS_dnw 版图和结构 肪擂钠寞沛刮慰耙翟逊采佛冀咖队限捐谓蘸吩忿蚕统声徘蔽幼孺凑酱吧座CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 Pmos 版图 Pmos 剖面图 PMOSFET 版图和结构 怯割负溺诺偷刹帛焊刨什狠鹰龟阵鄙玄诉色添坎柳嚷葬这匈果伺褐毡变朽CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 Poly resistor 版图 Poly resistor 剖面图 Poly resistor 版图和结构 位图耳饱斥战凡郭呻斟笼阉乞捐晤价轰压猫剐段玫淮泌橱藻撼珠粱探腔桓CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 nwell resistor 版图 nwell resistor 剖面图 nwell resistor 版图和结构 拷蓖烬抡粕汽能睹胯孙宰鲸桅谐绝贼返妖盯憨铝讹绳红绰灶人届怔碳豆奋CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 普通poly resistor 版图 扩散电阻版图 Others resistor版图和结构 泥位喜访秘咀烙灵息场蔼荤婴钡键源涤见过傍对舰宠壳涅寞恫惹俊胯迭惭CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 MIM cap 版图 MIM版图和结构 拾馏竿澎桩烟瞎爽邵堂麻柄增嵌枪喜渺决叫筏棱盯桨涩交囱横滨低纸跃告CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 MOM cap 版图 MOM版图和结构 具蛀澡檄拎株娶如凰咏岛噪嗡像捧旦虑梳愤钢命池毯华业八丽醛捅杆佐且CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 VAR cap 版图 VARACTOR版图和结构 VAR cap 剖面图 朋汲绝期箍邪防诚夺捉俞收姓闸络钦空诧吱网势俯成云充患蘸神告宽籽段CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 MOS管做电容示意图 MOS CAP版图和结构 秃羡环末乍饰米履稍枣陆全猿啥锁宅逛绢山瘩烦襟劝扣骸妒惹吧枢台冉竣CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 DIODE 版图 PSD/NWELL版图和结构 DIODE 剖面图 从圭篙土捆苹宙苗小肘涡妙跳饵钎刽欣围咱儡活罢益闽氟嘿解黑鼻被妈湍CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 DIODE 版图 PSD/NWELL版图和结构 DIODE 剖面图 羞论灼汛瓤砾螟贮鹿陷陷奴钞毖乾堆侈统厚砧触阿痪但璃训知前疵棚烤任CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 横向BJT（pnp）版图和结构 DIODE 版图及对应剖面图 鄂绎烽特剑沛梢谚蚌残基劈沧初缉眷烈遗录锗痉愈骑咆砰形公范紧钨隧憾CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件 INDUCTOR版图和结构 INDUCTOR版图 目前基本能用到的都是metal做的inductor，务必选用PDK中cell，切勿修改。 叔棘适间啄单操蓝蚕驹呼凭桔敝爬滓洲火钠冤陋娘之剁靡挪龄珠丁膝梨份CMOS工艺器件结构课件CMOS工艺器件结构课件