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真空镀膜实验 [实验目的] 1．了解真空(蒸发)镀膜机的基本结构和使用方法。 2．掌握真空蒸发法制备铝膜的工艺。 [实验仪器] 真空(蒸发)镀膜机 [实验内容] 根据真空热蒸发镀铝膜的三个物理过程，即： 1．采用蒸发或升华把固态材料转变为气态； 2．原子(分子)从蒸发源迁移到基片上； 3．基片表面上膜粒子重新排列而凝聚。 是如何顺利实现的，写出钟罩内全过程的报告。 [实验原理] -2 蒸发镀膜的原理是：先将镀膜室内的气体抽到 10 Pa 以下的压 强，通过加热蒸发源使臵于蒸发源中的物质蒸发，蒸汽的原子或分子 从蒸发源表面逸出，沉积到基片上凝结形成薄膜，它包括抽气；蒸发； 沉积等基本过程。镀膜机主要由以下几个部分组成，如图1 所示。 （A ）．镀膜室：主要包括四对螺旋状钨丝或舟状蒸发加热器；旋转基 片支架；烘烤加热器；热电偶测温探头；离子轰击环；针阀； 观察窗等。 （B ）．真空获得系统。它主要由机械泵、扩散泵、高低真空阀、充气 阀、挡油器及电磁阀等组成，电磁阀可防机械泵返油。 （C ）．真空测量系统。它由热偶计和电离计组合的复合真空计而成， 2 -1 热偶计是用于测量低真空度，范围 1O ～1O Pa，电离计是 -1 -6 用于测量高真空度，范围1O ～1O Pa。 （D ）．电路控制系统。它主要由机械泵、扩散泵、电磁阀控制电路 和镀膜蒸发加热器控制电路、钟罩升降控制电路、基片支架 旋转调速控制电路、烘烤加热温度控制电路、离子轰击电路 等组成。 图1 是 DM-450A 镀膜机的结构原理图：其中 1，电离规管， 热偶真空计满表后才能开电离真空计；2，GI-200 型高真空蝶阀， 镀膜室应有 5 帕以上的预备真空度，扩散泵加热(此时,冷却水应 开通,低阀应推进抽扩散泵系统)半小时以上，才可开高真空蝶阀； 3，DY-200A 型挡油器；4，K20 型油扩散泵；5，2XZ-8 型机械泵； 6，DC-30 型低真空磁力阀，机械泵电源关闭时,该阀自动向机械 泵放大气；7，储气罐；8，DS-30 形低真空三通阀，低真空阀拉 出是抽镀膜室，低真空阀推进抽扩散泵系统9，CQF-8 型磁力充气 阀，升起镀膜室钟罩时，应先用充气阀向镀膜室充入大气(此时, 低真空阀应拉出，高真空蝶阀应关闭；10，热偶规管；11，镀膜 室；12，ZF-85 型针型阀；13，挡板；14，侧观察窗；16，上观 察窗；17，夹具；18，19，冷却水；20，离子轰击环。 本实验是用电阻式加热蒸发源-螺旋形钨丝制备铝膜，螺旋形 钨丝相当于一个电阻，通电后产生热量，电阻率也随之加大，当 温度为1000℃左右时，蒸发源的电阻率约为室温时的5倍，蒸发 源产生的焦耳热就足以使铝原子获得足够大的动能而蒸发。铝丝 或铝片悬挂在螺旋形钨丝上，如图2 所示。 当镀膜室抽到高真空时，将挡板遮盖好钨丝，以防预熔时蒸 散的铝喷到基片上，然后慢慢通电加热钨丝，使铝熔化而沾附在 螺旋钨丝上，这个过程称为预熔，预熔的目的是将原来吸收在铝 中的杂质排除出去，这样铝在蒸发时就不会大量放气而破坏真空 度，同时也有利于保证膜层的纯度。 铝的熔化温度约为 670℃，采用丝状蒸发源是因为铝对钨丝 有湿润性，蒸发是从大的表面上进行，而且比较稳定，这种湿润 性和钨丝表面的温度有关。如果温度过高，铝和钨在高温下会形 成合金，很容易造成钨丝严重变形甚至烧断以及铝的喷溅，如果 温度过低，慢速蒸发的铝膜分子结构有聚集成块的结构趋势,加大 了膜层的反射吸收,同时会导致膜层的氧化污染，也容易造成铝膜 的附着力变差。铝膜的蒸发速率为 50 ～100nm/