Mo离子注入和离子渗硫对TiN涂层微观结构和表面性能-中国表面工程.PDF

第 30 卷  第 2 期 中  国  表  面  工  程 Vol. 30 No. 2 2017 年 4 月 CHINA SURFACE ENGINEERING April 2017   doi: 10.11933/j.issn.1007−9289.20161114003 Mo离子注入和离子渗硫对TiN涂层微观结构 和表面性能的影响 田    斌 ，刘宝辉，孟春玲，侯媛媛，岳    文1 1 1 1 2 (1. 北京工商大学 材料与机械工程学院，北京 100048；2. 中国地质大学(北京)  工程技术学院，北京 100083) 摘 要: 为进一步改善氮化钛涂层的摩擦学性能，分别采用高剂量Mo离子注入和低温离子渗硫技术对TiN涂层表面进 行处理。采用扫描电子显微镜(SEM)、光学形貌仪、扫描俄歇系统(SAM)、X射线衍射仪(XRD)和纳米压痕仪等分析 TiN涂层处理前后的表面形貌、元素分布、微观结构和纳米硬度。利用球盘摩擦磨损试验机在干摩擦条件下考察涂层的 摩擦学性能，并利用光学形貌仪和SEM进行磨损表面分析。结果表明，大剂量Mo离子注入后，TiN涂层表面Mo离子 深度接近200 nm，涂层硬度明显降低，涂层磨损剧烈程度得到显著改善，磨损率和摩擦因数分别降低约35%和40%； 低温离子渗硫复合处理后，TiN涂层表面溅射明显，Mo的深度降低约50%，摩擦学性能难以进一步明显改善。 关键词: 离子注入；钼；氮化钛；磨损 中图分类号: TG174.44; TG156.8 文献标志码: A 文章编号: 1007−9289(2017)02–0071–08 Effects of Mo Ion Implantation and Ion Sulfurization on Microstructure and Surface Properties of TiN Coatings TIAN Bin, LIU Bao-hui, MENG Chun-ling, HOU Yuan-yuan, YUE Wen1 1 1 1 2 (1. School of Materials Science and Mechanical Engineering, Beijing Technology and Business University, Beijing 100048;  2. School of Engineering and Technology, China University of Geosciences (Beijing), Beijing 100083) Abstract: In order to improve the tribological performances of TiN coatings, Mo ion implantations at high doses and low temperature ion