MEMS光开关的静电驱动技术.pdf

技术论坛 TECHNOLOGYFORUM MEMS光开关的静电驱动技术 ATechnologyonElectrostaticActuatorsofMEMSOpticalSwitch 厦门大学机电工程系 （福建厦门 361005）林 静 黄元庆 技 本文主要介绍MEMS光开关4种静电驱动的不同结构，及其各自在光开关性能上的优势与不足， 摘要： 术 这对MEMS光开关的设计研究具有参考价值。 论 ThispapershowsthestructuresofthefourelectrostaticactuatorsofMEMSopticalswitches,andin- Abstract: 坛 troducestheiradvantages,disadvantages,andtheirapplication.Itwillhelpresearchesonopticalswitchtosomeextent. 关键词：MEMS光开关 静电驱动 悬臂梁驱动 扭臂驱动 梳状驱动 SDA Keywords:MEMSopticalswitchesElectrostatic-actuatorsCantileveractuator TorsionbeamactuatorCombdriveactuatorSDA 1引言 等优点，可用于光互连网络、激光扫描及数字显像等。 静电驱动MEMS光开关的原理是一致的，均是通 MEMS光开关，其原理是通过静电或者其他控 过静电作用使可以活动的微镜面转动，从而改变光 制力使可以活动的微镜发生机械转动，以改变输入 路。依据不同的光开关结构，光开关可分为：悬臂梁 光的传播方向，从而实现开关功能。MEMS光开关 式微镜光开关、扭臂驱动式微镜光开关、梳状驱动式 比机械式光开关和波导型光开关具有更好的性能， 光开关、SDA（ScratchDriveActuator）驱动式光开关。 如：低插损，小串音，高消光比，重复性好，响应 2四种静电驱动结构分析 速度适中，与波长、偏振、速率及调制方式无关，寿 命长，易扩展成大规模的开关阵列。 2.1悬臂梁驱动 在驱动结构方面，目前静电和磁感应驱动逐渐 它是一个简单的悬臂梁结构,当上下电极之间 成为MEMS光开关的主要选择。磁驱动虽能提供较 的最大距离相对于电极长度较小时，假设电极之间 大的力，但存在大的能量损耗及使隔壁系统存在电 的电场线只存在于Y方向，即可近似为一个平行平 磁干扰等问题。因此磁感应驱动还需要解决系统的 板；当偏压施加在电容电极之间，产生的静电力与 屏蔽、封装以及可靠性问题。因此，静电驱动方案 板间距成线性关系；当不通电压时，梁由于自应力 目前仍是首选，而且已经有很多静电驱动的开关产 呈弧形，光纤直接出射；通上一定电压时，梁受静 品投放市场。 电力作用，向下接触绝缘层，入射光纤被梁上的平 目前，各种不同结构的静电驱动MEMS光开关 面镜反射到另一个出射口。 被广泛提出。现在静电驱动MEMS光开关的阵列已 此种驱动器不需要很高的电压就可以达到大的 经有8×8，16×16，32×32，512×512。由于其具有良 角度转动,如1999年加州大学电子工程系研究出的 好的重复性、无干