H-81I2六轴小型六足位移台.PDFVIP

H-811.I2 六轴小型六足位移台 快速、紧凑、高精度 行程达±17 毫米/ ±21度 负载容量达5 公斤 重复精度达±0.06 微米 速度达20 毫米/秒 超长使用寿命 可提供真空兼容版本 六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳 定、摩擦更小真空兼容型可达10-6百帕. 无刷直流电机(BLDC) 无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够精确对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触 ，可无磨 损地平稳运行 ，因此能够实现较长的使用寿命。 应用领域 科研和工业 ，标准和真空环境。用于微制造、医药技术、刀具控制。 17.07.2017 16:04 规格 H-811.I2 单位 公差 主动轴 X ，Y ，Z，θ ，θ ，θ X Y Z 运动和定位 X 、Y 向上的行程* ±17, ±16 毫米 Z 向上的行程* ±6.5 毫米 θ 、θ 向上的行程* ±10, ±10 ° X Y θ 向上的行程* ±21 ° Z 促动器设计分辨率 5 纳米 X 、Y 向上的最小位移 0.2 微米 典型值 Z 向上的最小位移 0.08 微米 典型值 θ 、θ 、θ 向上的最小位移 2.5 微弧度 典型值 X Y Z X 、Y 向上的空回 0.2 微米 典型值 Z 向上的空回 0.06 微米 典型值 θ 、θ 向上的空回 4 微弧度 典型值 X Y θ 向上的空回 4 微弧度 典型值 Z X 、Y 向上的重复精度