南台科技大学九十九学年度毕业专题成果报告专题名称雷射三角量测.docVIP

南台科技大學 九 十 九 學 年 度 畢業專題成果報告 專題名稱： 雷射三角量測探頭之研製 系所：機械工程系 指導老師： 朱志良 教授（ ） 專題學生：四技自控四甲 蔡文豪 四技自控四甲 曾勝勇 四技自控四甲 吳平凱 四技自控四甲 姚民建 四技自控四甲 林家祥 中 華 民 國 九十九 年 十二 月 一、摘要 本專題設計主要目的是發展一套低成本、高精度之雷射三角量測探頭。 以市售用的光碟機（DVD-ROM）內之光學讀取頭為光路基礎，將光學讀取頭中的繞射光柵、雙聚焦點透鏡與音圈馬達拆除，而成準直穩定之雷射光源，應用此雷射光源具有之極佳穩定功率特性、圓形高斯分佈的雷射光束與高精度的光接收器，達成精密雷射量測系統之研製。 m、量測解析度可達到0.2μm、量測精度可達約2μm的量測探頭。 關鍵詞 :光學位置感測器、DVD讀取頭、三角量測原理、非接觸式量測 二、前言 由於日新月異精密工業的快速發展欲對所加工的物品尺寸進行的檢測，以達成低誤差 因此，在產品的檢測高精密定位平台裝置上，相對的也需要高精密的量測技術來配合。而扮演整個量測核心的重點就在於定位系統與位移的量測等級，因此，如何進行精密定位與位移量測成為一個關鍵的發展重點。 以縱向及橫向解析度的觀點來看，微米級的探頭逐漸不敷使用，而一般具有更高精度的量測探頭，成本亦高。這幾年來漸漸地有相關研究單位與學者投入體積小、高精度、具奈米級量測的 三、正文 在物理量量測中最基礎的量測方法是尺寸與位移量測，大多的物理量的量測終究都可以轉變成為位移的量測。傳統的表面形狀和位移量測方式是採用接觸式，接觸式可依探頭讀取座標的型態可分為硬式探頭、觸發式探頭及類比式探頭等。 由於業界對產品的精確度要求越來越高，有些產品誤差已接近次微米的規格，其表面往往無法利用接觸式探頭來進行量測。主要歸咎於接觸式探頭在量測時，會因接觸力的關係使工件產生變形，或是破壞工件表面，這些損害都是導致機具無法正常運作的主要因素。 本專題研究目的欲研發一套新的量測探頭，希望除了對量測精度的提昇有正面的幫助之外，亦能降低高精度量測的成本。在比較接觸式與非接觸式探頭的優缺點之後（） 接觸式 非接觸式 接觸力 問題 有 無 傾斜與對焦問題 無 有 探頭半徑 補正 需要 不需要 磨耗損壞 有 無 反射率 影響 不易受影響 易受影響 環境的 影響 不易受影響 易受影響 軟薄及 微型工件 不適合 適合 表 接觸式與非接觸式優缺點 目前市面上有許多種類的三角雷射探頭，但主要的量測原理有兩種：一為採用光散射式原理進行量測之設計，而另外一種則為光反射式原理，其量測類型如圖一所示。 圖一 （a）（b） 綜觀歷年對於光學讀取頭應用於微奈米量測的相關研究，得知光學讀取頭能夠以其光學獨有的特性，達到高精度的檢測。利用DVD讀取頭開發量測儀器，所完成的非接觸探頭必須具有小於奈米的解析度resolution）與奈米的精度nanometer accuracy），因此為達此目標，需考慮訊號正規化Normalize）、雷射的溫度變化…等因素，研究減低表面反射率的影響及訊號飄移…等問題，以研製出 （一）原理： 光學 由於DVD光碟機之雷射讀取頭，不但內含雷射二極體光源，且光路中的光柵、分光鏡、四分之一波片、準直透鏡，與內建的光檢測IC等都以成熟的技術將其整體化、微小化，非常適合應用在我們的研究上 圖二 雷射讀取頭外觀圖 其運作原理利用雷射二極體發經由光柵產生繞射後，分為三道檢測光束，再經分光鏡、準直透鏡後將雷射光束變成一準直光束，此準直雷射光束經一鏡片中央呈現有間隔十到數百同心圓狀溝槽的透鏡時，將可使原始的準直雷射光束分離成兩部分，聚焦成適合DVDCD光碟片之資料儲存位置的雙焦點。 反射光束則循原路徑經準直透鏡、分光鏡後穿越柱狀像散透鏡，而投射至四象限光感測器Quadrant Detector）上。四象限感測器會根據光點在四個象限上的光分佈，輸出一失焦訊號Focus Error Signal，FES）。這個失焦訊號經過運算放大及補償處理，回去推動音圈馬達VoiceCoil Motor），將物鏡推到碟片可以在聚焦平面上的位置，達到鎖焦的目的。此時讀取頭再根據反射光的強度變化來讀取碟片上的數位訊號，完成資料存取的動作。圖即是光學讀取頭的內部結構。 （二）架構： 雷射三角量測探頭之研製 光碟機讀取頭使用的雷射光源，必須符合體積小、重量輕、穩定的波長與功率等特點，