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片状脆性材料拾放机械手控制系统设计与实现.PDF
/ / (Modern Manufacturing Engineering) 2013 5
设备设计 诊断维修 再制造 现代制造工程 年第 期
*
片状脆性材料拾放机械手控制系统设计与实现
， ，
何崇东 秦海辰 黄永安
( ， 430074 )
华中科技大学机械科学与工程学院 武汉
: (PEMFC) ， ，
摘要 针对质子交换膜燃料电池 膜电极的制备 提出一种用于拾放片状脆性材料的五自由度机械手 并重点研
。 / 、 ，
究其控制系统的设计与实现 为满足膜电极制造工艺中提出的精确力 位控制 精确对位和快速拾放的控制要求 提出
/ ， 、 。
基于运动模式切换和力 位双闭环控制策略 基于视觉对准的视觉纠姿系统和基于速度 加速度前馈的位置控制方法
， ， (IC)
这些控制策略和方法已成功运用于片状脆性材料拾放机械手的控制系统中 控制效果良好 亦可推广到集成电路
制造装备等其他领域。
: ; / ; ;
关键词 多自由度机械手 力 位双闭环控制 机器视觉纠姿系统 前馈控制
中图分类号:TP27 文献标志码:A 文章编号:167 1—3133 (2013)05—00131—05
Design and implementation of the control system of multi-DOF manipulator
used for picking-up and placing the flaky brittle materials
He Chongdong ，Qin Haichen ，Huang Yongan
(MSE ，Huazhong University of Science and Technology ，Wuhan 430074 ，China)
Abstract :For making membrane electrode of proton exchange membrane fuel cell ，proposes a kind of 5-DOF manipulator used for
picking-up and placing the flaky brittle materials ，focusing on studying design and implementation of its control system． To meet
control requirements of precise force / position control ，high-precision alignment control ，fast pick＆place raised by manu
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