传感器技术第4章-电容式传感器.ppt

图4－15 电容式测微仪原理图 2．电容式测微仪 高灵敏度电容测微仪采用非接触方式精确测量微位移和振动振幅，其最小检测量可达0.01μm。图4－15为电容式测微仪原理图，图中S 为电容测头的端面积，h 为测头与被测件间的距离，即待测距离，测头与被测件表面间形成的电容为CX ，即 待测电容CX接在高增益运放的反馈回路中，如图4－12所示，此时测微仪的输出电压为 显然输出电压与待测距离h成线性关系。 为了减小圆柱形测头的边缘效应，一般在测头外侧加装等位环，在等位环外侧加护套，测头电极、等位环、护套三者之间加绝缘层 3．电容式偏心度计 利用变极板间距离型差动电容传感器原理 芯线如图左偏时，芯线对左、右两极板的距离变为d1=d0－Δd ，d2=d0+Δd ，此时芯线与左、右两极板间的电容为C1=εs/d1 ，C2=εs/d2 ，则两电容之差为 设芯线不偏心时对左、右两极板的距离为d1=d2=d0。此时芯线与两极板间的电容为 根据输出电容ΔC 的大小检测出电缆芯线偏心度Δd 的大小，Δd＜＜d0，因而ΔC 与Δd 有较好的线性关系。 第四章 电容式传感器 4.4 电容式传感器的应用 1、电容式压力传感器 电 容 式 差 压 传 感 器 第四章 电容式传感器 变 面 积 式 压 力 传 感 器 第四章 电容式传感器 荷 重 传 感 器 第四章 电容式传感器 2、电容式加速度传感器 第四章 电容式传感器 3、电容式测厚传感器 第四章 电容式传感器 4、电容式液位传感器 第四章 电容式传感器 5、电容式温度传感器 该种传感器是属于变介质型电容传感器，主要利用电容器的中间介质的介电常数随温度变化而改变的原理进行测量。 以BaSrTiO3为主的陶瓷电容器，其介电常数在温度超过居里点之后，会随着温度的上升成反比的下降，如图所示。若将这种电容器与电 感组成谐振回路，则其谐振频 率会有规律地随温度变化。用 频率计测出其频率，经过换算 可求得温度。 思考与练习题 1．电容传感器按原理分类有几种类型？ 检测角位移、液位深度、非金属薄片厚度、电缆偏心度等参数，分别采用什么类型的电容传感器？ 2．电容传感器测量电路的主要类型？ 3．差动脉冲调宽电路原理分析？ 4．为什么常在电容传感器极板间插入云母片？ 2．变S 型 图4－5（b）是变极间有效面积型差动电容传感器。上下两圆筒电极固定，中间圆筒电极可沿X 方向移动；当中间圆筒电极上下移动时，上下电容器极板的有效面积S1和S2作反向变化，于是电容C1和C2一增一减，构成差动工作方式。 设初态时中间圆筒电极居中，即h1=h2=h ， C1=C2=C0= ，取差动输出 ΔC = C1 - C2 = 0 当中间圆筒移动量为ΔX 时，取差动输出 变S型差动电容传感器具有较高的灵敏度和较好的线性度 1、等效电路 由 得 第二节 电容传感器测量电路 第二节 电容传感器测量电路 2. 测量电路 2.1桥式电路（单笔桥，差动桥） 1. 单臂桥 C1、C2、C3为固定标准电容，CX为传感器电容 2．差动桥 C1和C2为传感器电容 （1）初态：两传感器电容C1=C2=C ，此时电桥空载输出 （2）工作时：若C1=C±ΔC ，则C2=C ΔC ，此时电桥空载输出 即工作时传感器两电容值发生等值反向变化， 电桥失去平衡；且电容变化量ΔC 越大，不 平衡电桥输出电压Uo也越大，两者亦呈线性 关系。 二、电容调频电路 电容调频电路是把传感电容作为调频振荡电路的一部分，当被测量使电容发生变化时，振荡频率产生相应变化。即 式中 L—振荡回路的等效电感； C =C1+C2+C0±ΔC 振荡回路总电容； C1—振荡回路中接入的固定电容； C2—引线电缆分布电容； C0—传感电容； ΔC—传感电容的变