运动规划在摆臂机构上的应用分析 analysis of motion planning on bond arm.pdfVIP

- 电 子 工 业 董 用 设 吝 新技术应用 运动规划在摆臂机构上的应用分析 庄文波，王兵锋，李恺，丁彭刚 (北京中电科 电子装备有限公司，北京 101601) 摘 要 ：摆臂机构是一些半导体封装设备上的重要组成机构 ，其运动的稳定性是整个封装动作 的关键。由于其高速运动的特性容 易引起机构振动造成产品品质下降．通过对摆臂机构进行分 析，采用模拟量PID控制和 S形速度曲线，对摆臂机构的两个伺服 电机进行运动规划 ，有效地抑 制 了摆臂在吸固晶时产生的振动 ，并缩短 了工作周期 ，从而提高了设备的效率和精度。 关键词 ：摆臂 ；PID；S形 曲线；运动规划； 中图分类号 ：TP271．2 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004．4507(2011)12．0021．05 AnalysisofM otionPlanningonBondArm ZHUANGWenbo，WANGBingfeng，LIKai，DING Penggang (CETCBeijingElectronicEquipmentCo．，Ltd，Beijing100176，China) Abstract：Bondarm isanimportantstructureinsomepackagingequipment．Thestabilityofbondarffl isthecriticalpartinwholepackaging．Thevibrationiscausedbecauseofthehighspeedcharacterof bondarm，sothequality isdropped．ThroughanalyzingthestructureofBondArm in thispaper， S-curveandPID controlareadopted．M otionplanningisappliedonthetwoservomotorinbondarin． ThevibrationinpickupandbondmotionofbondarlTlisrestrainedeffectively．Timeofworkcycleis reduced，andtheefficiencyandprecisionoftheequipmentareimproved． Keywords：Bondarm；PID；S-curve；Motionplanning 半导体产品被广泛应用于医疗、交通、通信等 产品的品质 。如何有效地抑制其产生的振动成为 领域 。相应的，市场上对半导体封装设备的要求也 提高设备性能的关键 。 日渐提高，这使得半导体设备制造商需要不断改 目前，多数情况是通过改变摆臂的材料及其 进工艺来满足市场需求。 结构来消除振动，这在一定程度上抑制 了其在高 摆臂机构是一些半导体封装设备如 固晶机 、 速运动时引起的振动，但是其抑制程度有限，为了 排片机上的重要组成部分。其运动的稳定性制约 进一步抑制振动需对摆臂的运动进行规划。本文 着整个设备的性能。由于其高速的特性，容易引起 通过运用 S形速度 曲线规划和 PID调节，对摆臂 在吸固晶时产生振动，从而影响了设备的性能和 机构的两个伺服 电机进行运动规划，根据摆臂机 收稿 日期 ：2011-11-07 万方数据 新技术应用 电 字 工 业 毫 用 设 备 I 构的固有频率分析，对摆臂的吸固晶动作进行平 臂进行 0向旋转和Z向上下运动，其结构如图 1 滑处理，从而有效地抑制了摆臂机构的振动问题， 所示。 向机构和Z向机构之间通过四联杆进行 提高了设备的性能和产品的品质。 联接，固晶臂在做 0向旋转的同时，z向机构