自动切割机桥形工作台的误差分析 error analysis on the bridge-type worktable of dicing saw.pdfVIP

圈Ik呷i电llmea字tfor础煮t雾腽胁cI融眦№硼雠nIr岫 ．半导体制造设备．·千寻体制建议茸· 自动切割机桥形工作台的误差分析 胡章坤1‘2，舂江1一，杨树文1一，吕荣华1 (1．中国电子科技集团公司第四十五研究所北京101601 2．北京中电科电子装备有限公司北京100176) 摘 要：以自动切割杌桥形工作台为研究对象，针对其高精度要求，通过对其结构的具体分析， 系统并详尽地对三轴桥形工作台的各种误差源进行了分析计算；通过高斯公式计算出各驱动轴 定位精度误差：介绍了桥形工作台定位精度的测量方法。对理论结果与实测结果进行了分析比 较，验证了误差分析结果的正确性，为高精度桥形工作台的设计提供参考。 关键词j三轴桥形工作台：误差分析；自动切割机 中图分类号：TN605 文献标识码：A Error onthe Worktableof Saw AnalysisBridge-type Dicing HU Shuwen也，LVRonghual Zhangkun比，QrNJiang比，YANG 45thInstitute 101601 (1．The ofCETC，Beijing 2．CETC Electronic Beijing EquipmentCO．，LTD，Beijing100176) Abstract：Inthis saw’s worktableis of its paper，dicingbridge-type objectstudy，forhighaccuracy the ofits anddetailedontheworktableofthe analysis requirements，throughstructure，Systematic sourcesare and Gauss calculatedthe errorof variouserror formula analyzedcalculated；by position each themeasurementoftheworktable resultsand axis；presented positioningaccuracy，theoretical resultsare and thecorrecttlessoftheerror experimentalanalyzedcompared，verified analysis，provided a forthe of worktable． referencedesignbridge—type worktable；Error saw Keywords：Three·-axisbridge·-type analysis；Automaticdicing 近年来，随着国内本土封装测试企业的快速成 崩”，先易后难，扭转我国半导体制造设备业的落后 长以及国外半导体公司向国内大举转移封装测试能 局面。 力，我国的半导体封装测试行业的发展充满了生机。 本文以后道封装切割设备