废水处理工艺简介.ppt

 WWTP System Basically Introduction廢水處理工藝基本介紹 1. 概論 2. 各類廢水處理工藝 2.1 重金屬廢水處理 2.2 氨系廢水處理 2.3 化學銅廢水處理 2.4.顯影、去膜廢水處理 2.5 鉻系廢水處理 2.6 含氟硼酸廢水處理 1.概論 半導體製造過程中,需使用各種性質不同的酸、鹼、有機溶劑等化學品,在生產工藝過程中,將產生大量的廢水,若處理不當,將對環境造成極大污染,同时,隨著社會不斷進步,環境問題日益受到人類關注,其中,工業廢水污染防治是環境保護重點之一,因此,為配合國家法規,推行清潔生產及污染防治,企業必須設置與企業規模、生產工藝相匹配之污染防治設施,作到廢水有效處理,達標排放,降低污染因素對環境之衝擊. 2.1.1重金屬氫氧化物沉澱法 1. 基本原理 重金屬氫氧化物沉澱法主要處理工藝為添加氫氧化鈉或石灰,提升廢水之PH值達到某一範圍,使廢水中的重金屬離子形成溶解性極低的固體氫氧化物而加以沉澱分離去除,反應原理如下: Mn++n(OH-)=M(OH)n 2 處理流程及技術 使用化學混凝沉澱法處理之重金屬廢水,大致可分為三個處理過程,即加藥PH調整、混凝反應、固液分離.處理方式的選擇可依據水量的大小來決定,一般來說,廢水水量如果每日小於50噸,可採用批式處理較為經濟簡便, 如果每日處理水量超過50噸,則以連續處理為佳. 2.2 氨系廢水處理 氨系廢水主要來源有二:其一來源為制程採用鹼性蝕刻技術,其於蝕刻後清洗過程因蝕刻帶出液所造成之清洗水的污染,另一主要來源為在微蝕表面處理過程中採用過硫酸氨之微蝕溶液,廢水中含有氨銅廢液,銅離子與氨產生錯合鍵接,並以氨銅錯離子的型態存在於廢水中,無法以傳統的重金屬氫氧化物沉澱法加以去除,同时因廢水中含過量之氨成分,其與含銅廢水混合,將與游離銅離子產生錯合作用,影響廢水中銅離子去除效果,故氨系廢水必須單獨收集,避免對重金屬廢水處理系統產生干擾. 2.處理流程及技術 此處理方式可採用批式處理方法,製程產生之氨系廢水由單獨之排放管線收集於單獨廢水儲槽中,當收集槽至高液位时,輸送至反應槽加入NaOCL氧化劑,進行氧化處理,以去除水中氨成分,在加氯氧化過程中,PH值宜保持在4左右, NaOCL加藥可採用氧化還原電位計或余氯指示控制計進行控制,使廢水中之氨完全去除. 2.3 化學銅廢水處理 在鍍通孔製程中大都採用化學鍍銅方式在孔壁鍍銅,以連接各板面之線路,故有化學銅廢液產生,由於化學銅廢水中含有螯合劑成分,廢水中的重金屬銅離子與螯合劑產生螯合作用,無法直接以重金屬氫氧化物沉澱法去除,故需單獨收集進行處理 2.3.1 硫酸亞鐵處理法 1 基本原理 利用亞鐵離子與螯合劑EDTA的螯合能力比銅離子強的基本原理,在適宜的反應條件下,加入硫酸亞鐵進行置換反應,將Cu-EDTA改變成Fe-EDTA,使廢水中的銅離子游離,再運用重金屬氫氧化物沉澱法去除銅離子. 2.處理流程及技術 製程產生之化學銅廢水由單獨之排放管線收集於單獨廢水儲槽中,當收集槽至高液位时,輸送至反應槽,加入硫酸使PH值調節至2.7左右,加入硫酸亞鐵,進行均勻攪拌,加入氫氧化鈉,調節PH值至11左右,使廢水中的銅離子形成沉澱物,加入混凝劑攪拌,使之形成大顆粒膠羽以利沉澱. 2.3.2鈣鹽處理法 1.基本原理 鈣鹽處理法是應用鈣離子與螯合劑EDTA的螯合鍵結能力比銅離子強且穩定性高的原理來處理化學銅廢水的處理方法. 在正常操作狀況下,製程排出之化學銅廢液PH值約在10-13之間,溶液中的銅離子與EDTA成螯合狀態,完全溶解在水中,由於鈣離子與螯合劑EDTA的螯合鍵結能力比銅離子強且穩定性高,因此,加入適量的Ca(OH)2,PH值控制在11.5左右,鈣離子將取代銅離子與EDTA螯合,而使銅離子形成氫氧化銅沉澱去除. 2.處理流程及技術 製程產生之化學銅廢水由單獨之排放管線收集於單獨廢水儲槽中,當收集槽至高液位时,輸送至反應槽,加入適量的Ca(OH)2,PH值控制在11.5左右,鈣離子將取代銅離子與EDTA螯合,而使銅離子形成氫氧化銅沉澱去除,加入混凝劑攪拌,使之形成大顆粒膠羽以利沉澱. 2.3.3.其它處理方法 化學銅廢水處理方法尚有硼氫化鈉還原法、鋁催化還原法、銅催化還原法等,在此將不一一介紹. 2.4.顯影、去膜廢水處理 製程在顯影、去膜過程中,將排放出高濃度有機廢液,如顯影廢液、剝膜廢液,另外,在不良品外層防焊油墨、幹膜剝除過程中,將