氦质谱检漏仪 HLT560 操作手册.pdf

操作手册 SmartTest 氦质谱检漏仪 HLT550 HLT560 HLT570 目录 产品标识 有效性 商标 1 安全条款 1.1 简介 1.2相似性产品条款 1.3 人员安全 1.4 符号应用 1.5 责任及质量担保 1.6 通用安全条款 2技术数据 2.1 总揽 2.2 电源连接 2.3 环境数据 2.4 测量 2.5接口 2.6 可插拔的控制显示器RC 260 2.7预抽泵 2.8 分子泵 3描述 3.1 测量系统 3.2 检测原理 3.3 检漏方法 3.4 示漏气体 3.5 本底压缩 4 操作控制 5 设置仪器到维护状态 5.1 安装 5.1.1 拆箱 5.1.2 运输固定件 5.2 安装外接的预抽泵 5.3附件安装 5.3.1 吸枪安装 5.3.2 排气 5.3.3 放气 5.4 电源连接 6 操作 6.1开机/停机 6.2 测量 6.2.1 测量显示 6.2.2 测量范围 6.2.3 显示设置 6.2.4 体积 6.2.5 紧凑型真空规 6.2.6