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第一部分，SPM 原理简介 一、 定义 SPM 包括多种成像模式，它们的共同特点是探针在样品表面扫面，同时针尖 /样品相互作用力被记录。 两种基本形式 1、STM 2 、AFM 两种主要模式： 1. 接触式 AFM 2. 轻敲式 AFM 一、 其它形式的 SPM Lateral Force Microscopy Magnetic Force Microscopy Electric Force Microscopy Surface Potential Microscopy Force Volume Piezorsponse Force Microscopy Conductive AFM Torsional Resonance Microscopy 二、 STM 原理及应用 原理简介：应用量子力学中的隧穿效应。它用一个半径很小的针尖探测被测样 品表面，以金属针尖为一电极，被测固体表面为另一电极，当它们之间的距离 小到 1nm 左右时，形成隧道结，电子可从一个电极通过量子隧穿效应穿过势垒 到达另一电极，形成遂川电流。在极间加很小偏压，即有净隧穿电流出现。遂 穿电流与两极的距离成指数关系，反馈原理是采用横流模式，当两极间距不同 （电流不同），系统会调整Z 轴的位置从而成高度像。 只能测试导电样品。 应用： 形貌像 STS （扫描隧道谱） 三、 AFM 原理及应用： AFM 的反馈原理，是探针在样品表面扫描，针尖顶部原子的电子云压迫 样品表面原子的电子云时，会产生微弱的排斥力，如：范德瓦尔斯力、静电 力等，力随样品表面形貌的变化而变化。同时针尖/样品相互作用力被记录， 通过激光束探测针尖的位移，从而得到样品的形貌。 接触式 反馈原理：针尖与样品距离比较近，靠悬臂的偏折量反馈，扫描过程中 要保持恒定的偏着量，当样品的表面高低变化时，悬臂的偏折量也会随 之变化，要保证恒定的偏折量，就要改变 Z 轴的位置从而成高度像。 轻敲式 反馈原理：扫描过程中悬臂以一定的频率和振幅在振动，轻敲模式靠振 幅反馈，扫描过程要保持恒定的振幅，当样品表面高低变化时，悬臂的 振幅也会随之变化，要保证恒定的振幅，就要改变 Z 轴的位置从而成高 度像。 两者的优势和劣势： 1、接触模式扫描速率快，适合做一些相对比较粗糙的样品，但成像质量 不如轻敲模式。 2 、轻敲模式的扫描速率相对较慢，适合测试比较平整的样品，图像质量 好。 四、 压电扫描器：2012 is coming 压电陶瓷的伸缩量与所加的电压成非线性关系，存在滞后效应和老 化效应。经过校正系统已经把这种非线性效应考虑进去并消除。 扫描过程中，样品台静止，探针振动（电压驱动压电陶瓷运动）。 五、 探针介绍： 探针有很多种，但它们都有共同特点，就是由三部分组成： 针尖、悬臂、氮化硅基底。 1、针尖很细，曲率半径在20nm 左右，整个反馈就靠针尖和样品之间的作 用力变化； 2 、悬臂式反射性很好的材料，主要作用是接收激光信号并反射给探测器， 这样探测器才能探测到悬臂的震动情况，进而成像。 3、基底用于把探针固定在探针夹上。 主要介绍用于接触模式的 NP 探针和用于轻敲模式的 ESP 探针，它们的区 别在于力学参数和几何形状的不同。NP 探针的悬臂是三角形的，弹性系数 较小；ESP 探针的悬臂是长方形的，弹性系数较大。 第二部分，操作 开机——打开软件——装针——对光——装样品——选择扫描区域——进针— —调节扫描参数——保存——离针 1、开机： 硬件顺序：计算机-控制箱 打开软件 2 、选用要求的软件模式（不同的测量模式，选用的模式不一样） C-AFM 在 Tools 里面选择 C-AFM Torsion 模式选择 Torsion Dimension V