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第2章 2.3压力检测wdq
实验表明,圆形硅膜片在受压力变形时,其圆心区域和边缘区域受力性质不一样。以半径 63.2% 为界,圆心区域受拉应力,边缘区域受压应力。受拉时,扩散电阻阻值增大;受压时,扩散电阻阻值减小。四个电阻可以构成全桥电路。 在硅膜片上扩散四个阻值相等的电阻,接成全桥式输出电路,不但可以提高电桥灵敏度,还可以获得温度补偿,抵消半导体电阻随温度变化引起的误差。 扩散硅压力变送器 2.3.3.4 压电式压力传感器 利用某些材料的压电效应原理制成。具有这种效应的材料如压电陶瓷、压电晶体称为压电材料。 压电效应:压电材料在一定方向受外力作用产生形变时,内部将产生极化现象,在其表面上产生电荷。当去掉外力时,又重新返回不带电的状态。这种机械能转变成电能的现象,称之为压电效应。 + F + + + - - - - 压电材料上电荷量的大小与外力的大小成正比。 如图所示,压电陶瓷的极化方向为z轴方向。如果在z轴方向上受外力作用,则垂直于z轴的x、y轴平面上面和下面出现正负电荷。 z y x F + F + + + - - - - 压电材料作为力敏感元件,从其输出特性可以看作是一个电荷源(静电发生器);从其材料特性可以等效为一个电容。其等效电路为: Ca—等效电容 Ra—等效漏电阻 后接电压放大器或电荷放大器即可。 Ca Ra Ua 电压源 + - Q Ca Ra Ua 电荷源 + - 过程控制系统与仪表 第2章 * 过程控制系统与仪表 第2章 * 过程控制系统与仪表 第2章 2.3 压力检测及仪表 压力是工业生产中的重要工艺参数之一。如在化工、炼油等生产工艺中,经常会遇到压力,包括高压、超高压和真空度(负压)的测量。 2.3.1 压力检测的方法 工程上习惯把垂直作用于单位面积上的力称为 “压力”。即 P = F/S S F 压力的单位是“帕斯卡”——1Pa =1N/m2 1MPa =106Pa 1工程大气压 = 1kg /cm2 = 9.80665×104Pa ≈ 0.1MPa 工程中压力的表示方式有: 表压、负压(真空度)、 差压、绝对压力。 工业中所用仪表的压力指示值,大多数为表压和差压。 p差压 = p被测压力1 - p被测压力2 表压 、绝对压力、负压(真空度)、差压之间的关系: p被测压力 p被测压力 p表压 = p绝对压力 - p大气压力 p真空镀 = p大气压力 - p绝对压力 压力测量仪表品种很多,按照其转换原理的不同,大致可分为四大类。 1、液柱式压力计 利用液体静力学原理测压,如U型管压力计,当被测压力P大于大气压力B时,液柱会产生高度差。 在U型管h2处等压面上有: P +ρ1g( H+h1+h2 ) =B + ρ2g H + ρg( h1+h2 ) 则: p = P - B= (ρ2 -ρ1 ) g H + (ρ –ρ1 ) g (h1+h2) 只要读出(h1+h2)便可知p p 0 h1 h2 B H ρ ρ1 ρ2 U型管压力计在读(h1+h2)时,产生两次读数误差。为了减少读数误差,可将其改进为单管压力计和斜管压力计,测量原理相似。 目前,液柱式压力计使用较少。 2、弹性式压力计 它是将被测压力转换成弹性元件的变形位移进行测量的。 3.电气式压力计 是通过各种敏感元件将被测压力转换成电量(电压、电流、频率等)进行测量的。例如力平衡式压力变送器、电容式压力变送器等。 4.活塞式压力计 是根据液体传送压力的原理,将被测压力与活塞上所加的砝码质量进行平衡来测量的。它的测量精度很高。 2.3.2 弹性式压力计 利用弹性元件受压产生变形可以测量压力。由于其产生的位移或力易转化为电量,且构造简单,价格便宜,测压范围宽,被广泛使用。 常用的弹性元件有5种: (1)单圈弹簧管 将截面为椭圆形的金属空心管弯成270°圆弧形,顶端封口,当通入压力 p 后,它的自由端就会产生位移。 测压范围较宽,可高达1000MPa。 (2)多圈弹簧管 为了在测低压时增加位移,可以将弹簧管制成多圈状。 (3) 膜片 用金属或非金属材料做成的具有弹性的圆片(有平膜片和波纹膜片)。
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