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2017-08-18 发布于上海
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调制光谱仪的微型化研究进展 developments of the micro modulating spectrometers

《半导体光电}2008年2月第29卷第1期孔延梅等：调制光谱仪的微型化研究进展调制光谱仪的微型化研究进展孔延梅1’2，梁静秋1，梁中翥1，贺小军1’2，张军b3 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室。吉林长春130033； 2．中国科学院研究生院。北京100039；3．暨南大学光电工程系．广东广州510632) 摘要：随着微加工技术的发展和日益成熟，微型化光谱仪的研究得以快速发展。和传统的微型光谱仪相比，基于调制原理的光谱仪具有高光通量、高分辨率的性能优势，可广泛应用于生物、化学、医学等许多领域中对微弱辐射信号的探测。介绍了几种类型的调制光谱仪的结构特点和关键技术，分析了设计与制作微型调制光谱仪过程中存在的一些关键问题与难点，并总结了该领域的研究进展和发展趋势。关键词：调制光谱仪；驱动器；微型化；傅里叶变换光谱仪；哈达玛变换光谱仪中图分类号：TH744．1 oftheMicro ．DevelopmentsModulatingSpectrometers KONGYan-meil“，LIANG Jing—qiul，LIANGZhong-zhul，HE Junl·3 Xiao-junl”，ZHANG Lab．of Instituteof Mechanicsand of (1．StateKey Appl．Optics，ChangchunOptics,Fine AcademySciences， Physics，Chinese 130033，CHN2．GraduateSchooloftheChinese of Changchun AcademySciences，BeUing100039，CHN； of 510632，CHN) 3．DepartmentOptoelectricEngineering,JinanUniversity，Guangzhou Abstract：Thematurationofthe micro-electromechanical has optical systemstechnology the ofthemicro tothetraditionalmicro impulseddevelopment spectrometer．Compared basedonmodulationcanbeusedin and spectrometer，thespectrometer biological，chemical faint toitsinherent ofthe medicalfieldstodetectthe due overview signals advantages．An on ofthemicro basedmodulationis in developments spectrometer