铁基软磁合金薄带高频磁导率测量方法研究 measurement of high frequency permeability of fe-based soft magnetic alloy ribbon.pdfVIP

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铁基软磁合金薄带高频磁导率测量方法研究 measurement of high frequency permeability of fe-based soft magnetic alloy ribbon

铁基软磁合金薄带高频磁导率测量方法研究 蒋伟伟,雷剑,周 勇,向毅,雷冲 (微米/纳米加工技术重点实验室,上海交通大学微纳科学技术研究院,上海200240) 摘要:给出一种铁基软磁合金薄带高频磁导率的测量方法,详细介绍了该方法的测量原理,并利用Agilent E4991A射频阻抗/材料分析仪研究了退火温度对201am厚铁基软磁合金薄带高频磁导率的影响。结果表明,随 退火温度的提高,磁导率实部单调提高,磁导率虚部则是先升高后降低。尤其是在550℃下退火,在IMHz和 10MHz下样品磁导率实部分剐为2210和330;比较了不同温度退火样品的磁导率的测量结果,得知550℃是一 个比较理想的退火温度。研究结果对以铁基非晶、纳米晶软磁合金薄带为磁心的高频微电感、微变压器等磁性 器件的设计具有重要的指导意叉。 关键词:铁基软磁合金薄带;退火热处理;高频磁导率;测量 文献标识码:B 中图分类号:TM276;TM936.4 文章编号:1001.3830(2012)01-0056.05 of Measurement highfrequencypermeability ofFe—basedsoft ribbon magneticalloy JIANG Jian,ZHOU Wei—wei,LEI Yong,XIANGYi,LEI Chong National and onNano/MicroFabrication Institute KeyLaboratoryofScienceTechnology Technology,Research Scienceand 200240,China Technology ofMicro/Nano ShanghaiJiao幻ngUniversity,Shanghai Abstract:Measurementof ofFe-basedsoft ribbonisintroducecdin highfrequencypermeability magneticalloy detaill.Effectof on ofFe—basedsoft ribbon annealingtemperaturehighfrequencypermeability magneticalloy with A was thicknessof E499l RF studiedinthis showedthat 20I.tmby impedance/materialanalyzer Agilent paper.Results thereal ofthe increases withtheincrease the partofpermeabilitysample monotonically ofannealingtemperat

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