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微电机与微加工 micro-motor and microfabrication
生产技术
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微电机与微加工
郭中醒，权! 利
（中国电子科技集团公司第二十一研究所，上海##(( ）
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! ! 摘! 要：简述了和微电机相关的微加工生产中的方法， 精密零件的一种全新加工技术。微铣削能够能够对
介绍了微型机电部件成型的实现途径。 常规或者微型模具的细小几何特征进行高精密加
关键词：微电机；微加工；微铣削；超细线切割；微电火 工，具有如下特点：
花；腐蚀加工；部件成型 高精度： !@ 或更小；
中图分类号：
4’% % 文献标识码：5
文章编号：67 , $68（!# ）$ , ! , ! 高曲面质量：#+ !@ 或更小；
细筋：
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:;=+*19 ：@610* % @*5*0 ；@610* % @/126464= ；@610* % @6BBC 征，必须使用微米级的特殊刀具、专用设备和专门
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@-45 ；G/05. % @*7B864=
6 引% 言
生物% 医疗装备、光学仪器、微电子（包括移动
通讯和电脑组件）以及一些特殊军事的用途对有限
小型空间的运动控制提出了新的要求。随着超小
型、微型机电组件技术的发展，对其驱动源% 微电机 图6% 微小零件
和以微电机为核心的机电组件的超小型化也提出了 为了获得以上要求，微铣削技术需要以下支持：
（’ ）刀具
新的要求。这种驱动源要求体积小（外径 ’ K $
@@ ），控制方便，具有一定的带载驱动能力，典型结 小直径刀具’## !@ 或更小；
构为电机带齿轮减速装置，典型应用为微型泵、微型
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