锡钛酸钡薄膜材料的研究现状 the research status of the barium stannate titanate thin films.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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锡钛酸钡薄膜材料的研究现状 the research status of the barium stannate titanate thin films

杨伦权等：锡钛酸钡薄膜材料的研究现状 No．4 电工材料2009 锡钛酸钡薄膜材料的研究现状杨伦权，符春林，蔡苇 (重庆科技学院冶金与材料工程学院，重庆401331) 摘要：铁电薄膜是一类重要的功能材料，其中锡钛酸钡(BTS)薄膜由于具有较优异的介电性能而成为研究热点。本文综述了锡钛酸钡薄膜材料的制备方法和介电性能的研究现状，提出了研究中需要解决的问题。关键词：锡钛酸钡(BTS)；薄膜；铁电中图分类号：TM22．1文献标志码：A 文章编号：1671—8887(2009)04—0036—05 ofthe TheResearchStatus BariumStannate TitanateThinFilms YANG Chun-lin Wei Lun-quan，FUFu，CAI and (School Materials ofMetallurgical Engineering， Scienceand 401331，China) ChongqingUniversityof Technology，Chongqing Abstract：Ferroelectricthinfilmisa functionmaterial．Duetoitsexcellent veryimportant electrical stannatetitanatethinfilmshavebeen properties，barium extensivelyinvestiga- ted．Inthis researchstatusof methodsanddielectric of paper，the preparation properties thebariumstannatetitanatethinfilmsandsome intheresearchare problems promoted． words：bariumstannate Key titanate；thinfilms；ferroelectric 1引言铁电晶体、铁电陶瓷等。随着微电子和光电子技术信息时代高技术的发展，主要得益于两大功能的发展，器件日益小型化、集成化，铁电材料薄膜化材料的发展【1】：一类是以Si、Ge、GaAs为代表的半将成为发展的必然趋势。导体材料，它是微电子技术和光电子技术的基础；铁电薄膜是具有铁电性且厚度在数十纳米到数另一类则是一系列在电、磁、光、热、机械等多方面微米的薄膜材料幢l。钛酸钡薄膜是一种典型的铁电具有传感、耦合、存储等功能的材料。铁电材料是功薄膜，多年来～直是研究的热点。为了获得性能更能材料的一个重要分支，它在某温度范围内能自发为优异的材料，很多研究者对钛酸钡薄膜材料进行极化且自发极化方向