应用qfd方法确定hic实施spc的关键工序 defining the key processes of hic using qfd method to implement spc.pdfVIP

应用qfd方法确定hic实施spc的关键工序 defining the key processes of hic using qfd method to implement spc.pdf

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应用qfd方法确定hic实施spc的关键工序 defining the key processes of hic using qfd method to implement spc

应用QFD方法确定HIC实施SPC的关键工序 刘建 (工业和信息化部电子第五研究所。广东广州 510610) 摘 要:在实施sPc的过程中,针对关键工譬开展技术攻关,固化攻关成果,开展质量稳定性控制与评价, 保证产品的质量稳定性。但是,在确定关键工序的过程中经常是依据“经验”,没有建立起各工序与最终产品质 量稳定性的定最表征关系.使得技术攻关存在着一定程度的盲目性。针对混合集成电路生产工艺。应用QFD的 方法来确定SIC实施中的关键工序。分析结果表明,应用质量功能展开方法,可以建立起产品质量攻关特性和 工艺条件的定虽对应关系,对各项指标进行科学的评算和分析,减少了盲目性。为企业的快速发展提供了动力。 关键词:质量功能展开;关键T序;混合集成电路;工艺过程控翩 14.2 中图分类号:TBl 文献标识码:A the ProcessesofHIC Method QFD DefiningKey Using to SPC Implement UU Jian 510610,China) (CEPREI,Guangzhou ofSPCinvolvestechnicalresearchtothe Abstract:Theimplementation doing keyprocesses, and the toensure theresearch stability results,and evaluatingquality solidifying controlling in ofthe on processesusuallydepends stability.But identifyingkey productquality practice,the ofthe betweeneach ofthe characterization quantitative relationship process “experiences”instead withthetechnical inacertain ofblindness andthefinal degree productqualitystability,resulting

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