压电加速度传感器的固有频率计算方法研究张中才.pdfVIP

DOI:10.13873/j.100008.022 !##$ 年 第 % 卷 第 $ 期!!!!!!!传感器与微系统 !’()*+,-.’()+ /0-’1*2*3.4.-5)16170.* 8 压 电加速度传感器的 固有频率计算方法研究 张中才 ! 杨黎明 ! 程永生 ! 中国工程物理研究院 电子工程研究所 !四川 绵阳 I$!‘ ! # $ $ $ 摘 要 针对压 电加速度传感器在工程应用中的特点 从传感器的力学模 型 出发 建立数学模 型 分析了 $ $ 基座 压 电片 质量块对压缩型压 电加速度传感器 固有频率 的影响 通过计算和仿真 得 出了影响传感器 固