测试技术4常用传感器.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 电容式传感器(3/12) 电容增量为 当??/?01时，有 （近似线性） 忽略非线性项，得 非线性误差为 灵敏度 灵敏度与极距的平方成反比，极距越小，灵敏度越高，但极距受极板间击穿电压的限制。 电容式传感器(4/12) 设间距增加?? 通常极距变化范围?? /?0 ? 0.1，仅适于较小位移的测量（0.01 ?m~数百微米）。 为了提高灵敏度、线性特性及克服电源电压、环境温度等对测量精度的影响，常采用差动式，灵敏度提高一倍，非线性误差减小为 ?2 ? ? ?1 ?? 电容式传感器(5/12) （2）面积变化型电容式传感器 该传感器的工作原理是在被测参数的作用下来变化极板的有效面积，常分为角位移型和线性位移型。 1）角位移型 式中：? — 覆盖面积对应的中心角； r — 极板半径。 1 — 动板；2 — 定板 1 2 电容式传感器(6/12) 2）平面线位移型 式中：b — 极板宽度。 x x ?x b 1 2 1 — 动板；2 — 定板 电容式传感器(7/12) 3）圆柱线位移型 式中：D — 圆筒孔径； d — 圆柱外径。 面积变化型电容传感器输入输出呈