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不同氧气含量下镍铬系平板集热器选择性吸收薄膜的制备和性能表征
第35卷摇 第3期 发摇 光摇 学摇 报 Vol郾35 No郾3
2014年3月 CHINESEJOURNAL OF LUMINESCENCE Mar. ,2014
文章编号:1000鄄7032(2014)03鄄0377鄄05
不同氧气含量下镍铬系平板集热器选择性
吸收薄膜的制备和性能表征
1,2 1,2 * 1,2 1,2 1,2
邓摇 双 ,杨培志 , 自兴发 ,段良飞 ,张力元
(1. 云南师范大学 可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室,云南 昆明摇 650092;
2. 云南师范大学 太阳能研究所,云南 昆明摇 650092)
摘要:采用双极脉冲磁控溅射系统,在不同氧气含量的氩氧混合气体中制备了单层镍鄄铬金属鄄电介质复合光
谱选择性吸收薄膜。 采用X射线衍射仪(XRD)、激光共焦显微拉曼光谱仪、椭偏仪和紫外鄄可见鄄近红外分光
光度计分别对薄膜的物相结构和光学特性进行了表征。 结果表明:实验获得了由金属镍和镍、铬的氧化物
(NiO、Cr O )组成的复合膜,薄膜对300~1200 nm波段的太阳光有较强的吸收,而对波长大于1200 nm 的太
2 3
阳光则吸收较弱,具有良好的光谱选择性,可用作高效太阳光谱选择性吸收涂层。
关摇 键摇 词:选择性吸收;镍铬金属鄄电介质复合膜;磁控溅射;物相结构;光学性能
中图分类号:TB3摇 摇 摇 文献标识码:A摇 摇 摇 DOI:10.3788/ fgx0377
Characterization of Ni鄄Cr System Based Solar
Selective Absorbing Films Prepared at Different Oxygen Content
1,2 1,2* 1,2 1,2 1,2
DENG Shuang ,YANG Pei鄄zhi ,ZI Xing鄄fa ,DUAN Liang鄄fei ,ZHANG Li鄄yuan
(1. Key Laboratory of Advanced Technique PreparationforRenewable Energy Materials,Ministry of Education,
Yunnan Normal University,Kunming 650092,China;
2. Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650092,China)
*Corresponding Author,E鄄mail:pzhyang@
Abstract:The single layered Ni鄄Cr metal鄄dielectric composite spectral selective absorbing films
were prepared by bipolarpulsedmagnetron sputtering in agasmixtureof oxygen andargon at differ鄄
ent oxygen content. TheX鄄ray diffractometer (XRD),Raman spectrometer,ellipsometer,and UV鄄
Visible鄄NIR spe
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