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基于4晶体管像素结构的互补金属氧化物半导体图像传感器-物理学报
基于4 晶体管像素结构的互补金属氧化物半导体图像传感器总剂量辐射效应研究
王帆 李豫东 郭旗 汪波 张兴尧 文林 何承发
Totalionizingdoseradiationeffectsinfoue-transistorcomplementarymetaloxidesemiconductorimage
sensors
WangFan LiYu-Dong GuoQi WangBo ZhangXing-Yao WenLin HeCheng-Fa
引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,024212(2016) DOI: 10.7498/aps.65.024212
在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.65.024212
当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2016/V65/I2
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基于4 晶体管像素结构的互补金属氧化物半导体
图像传感器总剂量辐射效应研究
王帆 李豫东 郭旗 汪波 张兴尧 文林 何承发
1) (中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室, 新疆电子信息材料与器件重点实验室,
中国科学院新疆理化技术研究所, 乌鲁木齐 830011)
2)(中国科学院大学, 北京 100049)
( 2015 年9 月15 日收到; 2015 年9 月27 日收到修改稿)
对基于4 晶体管像素结构互补金属氧化物半导体图像传感器的电离总剂量效应进行了研究, 着重分
析了器件的满阱容量和暗电流随总剂量退化的物理机理. 实验的总剂量为200 krad(Si), 测试点分别为
30 krad(Si), 100 krad(Si), 150 krad(Si) 和200 krad(Si), 剂量率为50 rad(Si)/s. 实验
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