基于吸收系数修正的硅片激光弯曲模拟与试验-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １６ １０ 　 Ｖｏｌ．１６ Ｎｏ．１０ 　 　 　　 　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００８ １０ Ｏｃｔ．２００８ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００８１０１９２８０８ 　 基于吸收系数修正的硅片激光弯曲模拟与实验 王续跃，胡亚峰，许卫星，吴东江 （大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁 大连 １１６０２４） 摘要：考虑热吸收系数随温度变化的因素，以硅为对象进行了激光弯曲模拟和实验。借助ＡＰＤＬ语言编写了激光弯曲成 形的仿真程序，对单脉冲作用过程进行模拟，以得到单点脉冲周期内的温度分布；采用 ／ 合金薄膜热电偶对单 ＮｉＣｒＮｉＳｉ 脉冲作用过程中的温度分布进行测量，对比上述的温度模拟与测量结果，修正硅材料的激光综合吸收系数为 ０．８２。采 用有限元分析软件实现了硅片的脉冲激光弯曲成形的仿真和模拟，并对硅片多次连续扫描的弯曲模拟与弯曲实验进行 对比，误差仅为 ０．１°，验证了仿真程序的有效性，为硅片的激光弯曲成形提供了理论与实验依据。 关 键 词：激光弯曲；吸收系数；脉冲激光；硅片 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＮ２４９ＴＮ３０５ Ａ 　　 犕狅犱犻犳犻犮犪狋犻狅狀狅犳狊犻犾犻犮狅狀犪犫狊狅狉犫犻狀 犮狅犲犳犳犻犮犻犲狀狋犻狀犾犪狊犲狉犫犲狀犱犻狀 犲狓犲狉犻犿犲狀狋 犵 犵 狆 ， ， ， ＷＡＮＧＸｕｕｅ ＨＵＹａｆｅｎ ＸＵＷｅｉｘｉｎ ＷＵＤｏｎｉａｎ ｙ ｇ ｇ ｇｊ ｇ （ 犓犲犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅狉犘狉犲犮犻狊犻狅狀犪狀犱犖狅狀狋狉犪犱犻狋犻狅狀犪犾犕犪犮犺犻狀犻狀 犜犲犮犺狀狅犾狅 狅 狋犺犲犕犻狀犻狊狋狉 狅 狔 狔犳 犵 犵狔 犳 狔 犳 ， ， ， ） 犈犱狌犮犪狋犻狅狀 犇犪犾犻犪狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犇犪犾犻犪狀１１６０２４ 犆犺犻狀犪 狔 犳 犵狔 ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｂ ｃｏｎｓｉｄｅｒｉｎ ｔｈｅｒｍａｌａｂｓｏｒｔｉｏｎｆａｃｔｏｒｓｃｈａｎｅｄｗｉｔｈｔｅｍ ｅｒａｔｕｒｅ ｔｈｅｌａｓｅｒｂｅｎｄｉｎ ｅｘ ｙ ｇ