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第卷第期强激光与粒子束年月文章编号超高阈值反射镜的研制付雄鹰王建永丁俊刘民才范正修成都精密光学工程研究中心成都中国科学院上海光机所上海摘要采用水中抛光技术抛制了的玻璃基片表面粗糙度达在镀膜机上摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了对波长入射角反射率的反射膜膜层的抗激光损伤阈值可达镀膜后该玻璃基片反射波前可达最终制备了超高阈值反射镜关键词激光损伤阈值反射波前反射镜电子束蒸发水中抛光中图分类号文献标识码随着高功率激光器对输出功率的要求越来越高同时要求器件的小型化这显然将
第 12 卷 第 3 期 强 激 光 与 粒 子 束 . 12, . 3
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2000 年 6 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S Jun. , 2000
文章编号: 1001—4322 (2000) 03—0285—04
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