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Academ ic 学术 作的结构侧壁之间形成截面为三角形 的 2．4．2紫外纳米压印技术 还需要使用对紫外光有高透明度的模具， 纳米沟道，利用PDMS变形成型技术和 利用紫外纳米压印技术成型纳米沟 以及粘度很低 的光刻胶材料，在很大程 PDMS表面处理技术制造二维纳米沟槽， 槽的步骤与热纳米压 印工艺基本相似。 度上增加了制造成本。 制作工艺简单，成本相对较低，但由于 但是，紫外纳米压印技术不是通过加热 2．4．3热压成型技术 裂缝的开裂位置与尺寸不 易掌控，此方 实现对光刻胶的固化，而是通过紫外光 利用热压成型技术与纳米压印技术 法很难精确地控制纳米沟槽的尺寸和截 照射实现的。因为光刻胶中含有光敏剂， 制造二维纳米沟槽的工艺在本质上是一 面形状。 被紫外光照射后会迅速固化。另外，紫 样的，都是在高温高压下将纳米模具的 2．4复制技术 外纳米压印对纳米模具和光刻胶也有特 图形复制到基底上。但是，热压成型技 纳米光刻技术是利用光子或者 电子 殊的要求。模具必须是对紫外光高度透 术只需要一步复制工艺，即将纳米模具 改变光刻胶材料的化学或者物理性质 以 明的，一般选择石英模板。同时要求光 的图形直接复制到成本低廉的热塑性聚 定义纳米 图形。不同于纳米光刻技术， 刻胶的粘度很低，即为液态，在很小的 合物基底上，就可 以实现二维纳米沟槽 复制技术是将模具的纳米级特征尺寸机 压力下就可以完成对模具空腔的填充。 的批量制造，与纳米压印技术相 比，具 械地复制到压印光刻胶上，依靠光刻胶 综上所述：纳米压印技术突破了光 有成本低且工艺简单的优点，尽管热压 材料的变形成型纳米图形，克服了光刻 的衍射极限，可以大面积的制造纳米 图 成型技术有上述优点，但是如果无法制 技术中光的衍射极限问题。复制技术主 形。并且模具可反复利用，实现 了纳米 造纳米模具，或者是制造纳米模具需要 要包括纳米压印技术和热压成型技术， 沟槽的批量制造。同时，纳米压 印技术 昂贵的纳米光刻设备，那么热压成型技 其中纳米压印技术主要包括热纳米压印 可以与其它的微制造技术兼容，制造出 术将不再是一种经济可行的纳米沟槽制 技术和紫外纳米压印技术。 复杂的微 ／纳流控器件。然而，纳米压 造方法 。 2．4．I热纳米压印技术 印技术是将纳米模具 的图形复制到硬质 热纳米压印技术是 Chou博士在 1995 基底表面的薄层光刻胶涂层上，然后通 作者简介： 年发明的一项重要的二维纳米沟槽加工 过刻蚀的方法将纳米 图形转移到硬质基 徐莘博 (1994～)，男，江西宜春人， 技术，具有成本较低，分辨率高，可以 底上，得到二维纳米沟槽。尤其是利用 工作单位：大连理工大学，职务：学生， 进行批量生产的优点。 紫外纳米压印技术成型二维纳米沟槽时， 研究方向：微纳制造传感测控。 基于PLC模式的空压机电机变频控制分析 铁 真 (常德市芙蓉实业发展有限责任公司) 摘 要：介绍了变频器工作基本原理及变频节能原理 ，通过某工厂空压机电动机变频改造情况 ，对比分析改造前后节能效果 ，具 有很好的节能效果和广泛的推广前景。 螺杆式空压机运用很广泛，传统的 缩空气的压力在Pmin～Pmax之间来 回 成正比，压力H与转速N的平方成正比， 控制大多采用接触器直接对空压机主 电 变化。Pmin是能够保证现场用气 点正 功率P与转速 N的立方成正 比，如果 机加载工频 电源，依靠进气 阀门的开关 常工作的最低压力。一般情况下，Pmax 水泵的效率一定，当要求调解流量下降 来控制空压机的进气 口是否进气，从而 与 P