阳极氧化铝工艺用于提高led的出光效率 extraction efficiency of light-emitting diodes improved by aao.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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阳极氧化铝工艺用于提高led的出光效率 extraction efficiency of light-emitting diodes improved by aao.pdf

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阳极氧化铝工艺用于提高led的出光效率 extraction efficiency of light-emitting diodes improved by aao

T技echn术ology争?l■‘ 制Ma造nufa工ctur艺ing 1．04．007 DOI：10．3969／j．issn．1003—353x．201 阳极氧化铝工艺用于提高LED的出光效率潘岭峰，李琪，刘志强，王晓峰，伊晓燕，王良臣，王军喜 (中国科学院半导体研究所，北京100083) aluminum 摘要：使用纳米尺度的多孔阳极氧化铝(anodic oxide，AAO)作为刻蚀掩膜，刻蚀氧化铟锡(indium—tinoxide，ITO)，形成纳米图形化表面，对于发光二极管的出光效率有明显的提升作用。AAO纳米掩膜的制备已广为报道，是纳电子学研究中常用的模板之一，工艺简单易行、可控性好。使用电感耦合反应离子刻蚀方法成功将纳米多孔结构转移到ITO上，形成ITO 纳米结构。纳米图形化结构的引入使得器件有效减小了内部的全反射，在电压没有大幅提高，注入电流350mA时，光学输出提高了7％。纳米尺度粗化结构LED与传统结构LED对比，提升了器件的外量子效率。关键词：发光二极管；氮化镓；阳极氧化铝；外量子效率；纳米图形化表面中图分类号：TN312．8文献标识码：A 、 Extraction of Diodes AAO Efficiency Improvedby Light-Emitting Pan Lingfeng，LiQi，LiuZhiqiang，WangXiaofeng， Yi Junxi Xiaoyan，WangLiangchen，Wang (Instituteo／Semiconductors，ChineseAcademyofScience，Be彬ng100083，China) nano-scaleanodic asmasktoetch tin Abstract：Byusing aluminumoxide indiumoxide，the formationof surfacewasobserved．The ofthe diodewas nano-graphical opticalefficiencylight-emitting ofanodicaluminumoxidenano-maskis is significantlyincreased．Using widelyreposed．Itcommonly usedinnanoelectronicsresearch．This is and technology simplecontrollable．Byinductivelycoupled reactiveionetcher ITO structurewasto tra