工程光学12-2光的干涉.ppt

(2).测量微小物体的厚度 (3). 测量微小角度. (4) 测量微小位移 ［例］在半导体器件生产中，为测定硅片上的Si02薄膜厚度，将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状，如图。用钠黄光从空气中垂直照射到Si02表面上，在垂直方向上观察Si02劈尖膜的反射光干涉条纹，看到有七条暗纹，第七条恰位于N处，问薄膜的厚度？ §12-5 平行平板的多光束干涉及应用 * * §12-4 平行平板的双光束干涉 分波阵面法的干涉，受到空间相干性的限制（干涉孔径角总有一定大小，且 ），只能使用有限大小的光源，在实际中不能满足条纹亮度的要求（激光光源除外）。为了使用扩展光源，必须实现干涉孔径角等于零的干涉。 分振幅法:利用透明介质的第一和第二表面对入射光的依次反射，将入射光的振幅分解为若干部分，由这些光波相遇所产生的干涉，称为分振幅法干涉。 在使用扩展光源的同时，保持清晰的条纹，解决条纹亮度与可见度的矛盾。 · p S * 一、干涉条纹的定域 两个单色相干点光源在空间任意一点相遇，总有一确定的光程差，从而产生一定的强度分布，并都能观察到清晰的干涉条纹，这种干涉称为非定域干涉。 在扩展光源情况下，由光源上不同点源出发到达该点的产生双光束干涉的光程差不同，当光程差变化δΔλ/4的区域，条纹可见度下降，观察不到清晰的干涉条纹；而在 δΔλ/4的区域，尽管采用了扩展光源，仍可看到清晰的干涉条纹。能够得到清晰条纹的区域称为定域区（定域干涉）。 可见，定域干涉是和扩展光源的使用联系在一起，它本质上是一个空间相干性问题。 二、平行平板产生的等倾干涉 在一均匀透明介质n’中放入上下表面平行，厚度为h 的均匀介质n。 则P点的强度为： 两支相干光的光程差为： 定域面 考虑有半波损失，因此实际光程差为： 可见，在平行平板的干涉中，光程差只取决于折射角，相同折射角的入射光构成同一条纹，称等倾条纹。 扩展光源上不同点S′发出的同倾角的光线，经平行平板分光后具有相同的光程差也到达P点，因此P处的不同组条纹没有位移，这样既保持了条纹很好的可见度，又因为使用扩展光源而增加了条纹的亮度。 产生等倾圆条纹的装置 倾角i相同的光线对应同一条干涉条纹 —等倾条纹。 其光程差越大，对应的条纹干涉级次越高，在中心处具有最高干涉级。 其角半径记为θ1N（条纹半径对透镜中心的张角）为： 表明：平板厚度h越大，条纹角半径越小。 则条纹的角间距（相邻条纹对透镜中心的张角）为： 可见，角间距反比于θ表明靠近中心的条纹较疏，离中心越远条纹越密，呈里疏外密分布。同时又正比于1/h，即平板越厚条纹也越密。 三、楔形平板产生的等厚干涉 两个不平行平面的分振幅干涉，称为楔形平板的干涉。 （一）定域面及定域深度 楔形平板干涉条纹定域面的位置，也由 的条件确定，由于平板的两个表面之间有一个夹角，定域面与楔板相对于扩展光源的位置有关。 实际中扩展光源并非无穷大，即： 干涉条纹不只局限在定域面，在定域面附近也可以看到干涉条纹，这一定的区域深度为定域深度。 定域深度以外的区域看不到干涉条纹。 （二）楔板产生的等厚条纹 从光源S中心发出经楔板上下表面反射的两支光交于定域面上某点P，这两支相干光在P点产生的光程差为： 精确计算较困难，近似用平行平板的光程差公式来代替： 若照明平行光垂直入射楔板， 若楔板折射率处处均匀，干涉条纹与等厚度的轨迹相对应，这种干涉叫等厚干涉，这种条纹称为等厚条纹。 亮纹 暗纹 从以上亮纹或暗纹公式易导出，从一个条纹过渡到另一个条纹，平板的厚度变化为： 对应光程差变化为 ，楔板的楔角 为条纹的间距 α e ?h ek ek+1 明纹 暗纹 条纹间距 （适于平行光垂直入射） (1). 当有半波损失时，在劈棱 处为暗纹， 否则为一亮纹； (2). 干涉条纹是平行于棱边的直条纹 (3). 相邻明（暗）纹间距 (4). 楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏 等厚干涉条纹分布的特点： 劈尖表面附近形成的是一系列与棱边平行的、明暗相间等距的直条纹。楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏；当用白光照射时，将看到由劈尖边缘逐渐分开的彩色直条纹。 三. 等厚条纹的应用 1. 劈尖的应用 测波长： 测折射率： 测细小直径、厚度、微小变化 测表面不平度 测细小直径、厚度、微小变化 Δh 待测块规 λ 标准块规 平晶 测表面不平度 等厚条纹 待测工件 平晶 检验透镜球表面质量 标准验规 待测透镜 暗纹 ? (1)检测待测平面的平整度 由于同一条纹下的空气薄膜厚度相同，当待测平面上出现沟槽时条纹向左弯曲。 待测平面 光学平板玻璃 将微小物体夹在两薄玻璃片间，形成劈尖，用单色平行光照射。 由 有 例如用波长为589.3nm的钠黄光垂直照射长 L=20mm 的空气劈尖，测得条纹间距