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精密仪器课程设计 激光干涉纳米级位移测量系统设计 姓名： 薛重飞 学号： 专业：测控技术与仪器 2013年12月 目 录 1. 国内外发展现状概述 4 2. 总体方案设计 6 3. 测量方法设计 6 3.1测量方案框图 6 3.2 测量原理 7 3.2.1激光干涉原理 7 3.2.2光电传感器的信号 8 3.2.3移相系统 10 3.2.4 辨向及可逆计数 11 3.2.5量化细分 13 3.2.6模数及数模转换 17 3.2.7比较器的参考电压 18 3.3硬件电路的实现 19 3.3.1信号整形及低通滤波 19 3.3.2单片机系统 19 3.3.3数模模数转换芯片与单片机连接 20 3.3.4整体电路设计 20 3.4软件程序的设计 21 4总结及展望 23 5参考文献 23  激光干涉纳米级微位移系统设计 国内外发展现状概述 随着现代化国防建设、工业生产和科学技术的飞跃发展，无论是元件生产的设备正向超大型化、微型化、精密化和自动化方向发展。因此，精密测量的工作显得越来越重要。 多年来单频激光干涉仪的研究主要集中在光学系统结构改良和非线性修正 方面。前者的目标是通过改进干涉仪的结构，以提高系统的分辨率、重复精度以 及对空气扰动、折射率波动、工作台振动等环境噪声的抗干扰能力。后者通过研 究各具体干涉仪的