微电子学专业实验-介绍.pptVIP

微电子学专业实验介绍 2011.09.02 《微电子学专业实验》是按照我院新办专业“微电子学专业”的培养方案及教学计划要求，设置的一门重要专业实验课程。该课程是微电子学专业本科学生必修的一门专业实验课，是理论性和实践性都非常强的一门课程。微电子学实验涉及了集成电路设计、半导体物理、半导体器件、工艺及材料等多个专业方面。 实验要求和目的： 本课程要求学生先修完：大学物理实验，半导体物理，半导体器件，微电子学概论，模拟电子技术，数字集成电路设计，微电子制造技术和计算机辅助设计等理论课程后，再进行本课程的学习。 要求学生掌握半导体材料特性测试技术、微电子技术工艺参数测试分析技术和微电子器件参数测试与应用技术，能够熟练使用集成电路EDA工具软件。 实验学时：64 必修课 每个学生必须独立完成16个实验项目 考核方法: 课内实验完成情况 40% 实验报告 40% 课内考试 20% 实验教学内容 本实验课程涵盖三部分实验内容： 半导体材料特性与微电子技术工艺参数测试分析 半导体器件性能参数测试 集成电路性能参数测试与应用及现代集成电路EDA技术 实验内容（1） 半导体材料特性与微电子技术工艺参数测分析： 四探针法测量半导体电阻率 半导体霍尔效应实验 光电导衰退法测