TiNTiB2异结构纳米多层膜的共格生长与力学性能.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (% # ##( # ， ， ， L@ .(% , . # Q1FVHO ##( （ ） ###2$4#-##(-(% # -%%’2#’ KM)K :JTPUMK PU,UMK !##( M7*5 . :7BD . P1 . !#$ !% 异结构纳米多层膜的共格生长与力学性能! 魏 仑 梅芳华 邵 楠 董云杉 李戈扬! （上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室，上海 ###$# ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##% # ’ ##( $ $ 采用多靶磁控溅射法制备了一系列具有不同 调制层厚度的 纳米多层膜 利用 射线衍射仪、高 )*+ )*,-)*+ . / 分辨电子显微镜和微力学探针研究了 层厚变化对多层膜生长结构和力学性能的影响 结果表明，在 层 )*+ . 0112)*, （ ）生长面的模板作用下，原为非晶态的 层在厚度小于 时形成 晶体态，并与 形成共格外延 )*+ 3456 718 0112)*, 生长；其界面共格关系为｛ ｝ ｛ ｝ ，〈 〉 〈 〉 由于共格界面存在晶格失配度，多层膜中形成拉、 )*, -- ### )*+ # )*, -- # )*+ . 压交变的应力场，导致多层膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应，最高硬度和弹性模量分别达到%’ 349:; 和 继续增加 层的厚度， 形成非晶态并破坏了与 层的共格外延生长，多层膜形成非晶 层和非 %’(9:; . )*+ )*+ )*, )*, 晶)*+ 层交替的调制结构，其硬度和弹性模量相应降低. 关键词： 纳米多层膜，共格生长，晶体化，力学性能 )*,-)*+