纳米晶薄膜的脉冲准分子激光沉积及结构分析-无机材料学报.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 匕 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 纳 米 晶薄膜 的脉冲准分子激光沉积及 结构分析 方 国家 , , 刘祖 黎 , 姚 凯伦 , 、 中科 大 光 技 国 重 查实脸 室 和 物 理 , 汉 类 华 技 学激 术 家 系 武 襄 学院物 理 系, 襄 类 中 国科 学院 国际材 朴物 理 中心 , 沈 阳 摘 要 采 用脉冲准分子激光大面积扫描 沉积技术, 在 单 晶衬底上 沉积 了 二 薄 膜 采用 射线衍射 、 喇曼光谱 、 付里 叶红外光谱 及透射 电镜扫描 附件 对不 同条件下沉积 的样 品进行 了结构分析 结果表 明, 氧分压和沉积温度是决定薄膜 结构和 成份 的主要参数 在沉积温度 以上及 氧压 下得 到 了三斜相纳米 晶 薄 膜 关 键 词 三氧化钨薄膜 纳米 晶 脉冲准分子激光沉积 结构分析 衬底 中图分类号 文献标识码 引言 薄膜在 光 学 电致 变 色灵 巧 窗 、 信 息显示 器 、 低 压 压敏 器 、 气敏 传感器 、 航天器 的 抗反射涂 层 及 红 外发射调节等领 域 一 有着广 阔的应 用前景 些 光学器 多层 致 色器 时 , 一 面要