低温等离子体物理基础-王友年老师.ppt.pptVIP

* * * * * * * 2、低温等离子体数值模拟或仿真的必要性 （1）从科学研究的角度考虑，只有通过理论分析、数值模拟、实验诊断三者相结合的方法，才能对低温等离子体过程进行系统地分析，揭示放电参数对等离子体状态参数的影响规律。 （2）从引实际应用的角度考虑，通过数值模拟或仿真，可以对等离子体发生器的设计提供参数优化，对等离子体工艺过程进行预测，缩短等离子体装备或工艺过程的研发周期。 （3）发表文章：对于模拟与实验相结合的文章，易发表。 （4）易开展工作：不需要昂贵的实验设备、不要实验室，只需要一台电脑（集群）。 3、现有的低温等离子体数值模拟程序或仿真软件 商业软件： （1）COMSOL软件； （2）CFD-ACE++软件； （3）Fluent 软件； （4）Pegasus 软件； （5）Vorpal 软件； …… 大型模拟程序： 由Kushner教授课题组开发的HPEM (Hybrid Plasma Equipment Model)程序，但禁止代码输入中国。 优点：（1）很好的前后端处理界面； （2）能实现多场耦合。 问题：由于代码不公开，很难进行二 次开发。 呼唤具有中国自主知识产权的大型低温等离子体数值模拟程序或软件的出现！！ 4、需要解决的关键问题 （1）从物理模型向数学方程的转换：建立合理的低温等离子体理论模型，选择恰当的边界条件和初始条件。 （2）从数学方程到数值计算的转换：选择合适的数值计算方法（如差分方法），编写数值计算代码，集成为数值模拟程序。 （3）从计算程序向仿真软件的转换：对各计算模块进行优化，提高仿真的速度；开发出“人-机友好”的前后端处理界面；提供良好的数据处理和绘图功能。 说明：对于后两个方面，技术含量较高，要到受知识产权保护，一般不对外公开。 谢谢！ * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 等离子体流体力学方程组（原始形式）： 等离子体 电磁场 等离子体与电磁场的自洽耦合过程，它是一个非线性、紧耦合过程： 对于处于局域热平衡的电弧等离子体，由于带电粒子的温度相等，即 Ta =T，通常采用单流体力学方程来描述。 这里利用了： 粒子数守恒、动量守恒、准点中性条件 局域热平衡等离子体的流体力学方程组： 对于冷等离子体，电子温度远大大于离子温度，通常采用多流体力学方程来描述。这里仅考虑电正性气体放的，且为电子-离子的双流体情况。 电子流体： 离子流体： 冷等离子体的流体力学方程组： （1）对于电正性气体放电，在主等离子体区，带电粒子只能产生（电离）没有损失： （2）对于冷等离子体区，一般认为带电粒子处在热平衡附近，因此可以压强张量近似地表示为（忽略粘滞效应）： （3）对于电子及离子，可以近似地把动量输运表示为（摩擦力）： （4）可以把电子的热流矢量近似地表示为（傅里叶定律）： （5）碰撞引起电子的损失（略去弹性碰撞的贡献） 冷等离子体的流体力学方程组： （1）低气压直流等离子体 对于低气压直流放电等离子体（如等离子体推进器），在放电过程中所有的物理量不随时间变化，因此有： 迁移-扩散近似： （1）假设放电气压不是太低，忽略动量平衡方程中的对流项； （2）只考虑电场存在； （3）假设带电粒子的温度为常数。 这样电子及离子的动量平衡方程为： 由此，可以得到带电粒子的通量为： 双极扩散近似： 进一步假设： （1）准电中性条件成立，即电子密度等于离子密度： ne = ni ； （2）电子的通量等于离子的通量。 这样有： 等离子体密度分布： （2）低气压容性耦合等离子体 ? 如果放电频率不是太高（如 13.56 MHz）,放电腔室直径不是太大，则在等离子体中只有射频电场存在，可以忽略射频磁场的存在。 ? 射频电场由泊松方程确定: ? 如果放电气压不是太低，并考虑到电子的质量很小，这样可以忽略 电子动量平衡方程左边的两项，有 如果不考虑外磁场的存在，则可以进一步地得到： ? 由于离子的质量较重，在低气压放电下，对离子成份不采用迁移-扩散近似。 电子成份： 离子成份： 静电场： 思考题：当有外磁场存在时，推导出等离子体的流体力学方程组。 （3）低气压感性耦合等离子体 ? 对于感性耦合放电，腔室中的电场为： 其中Eq 为射频电场，由线圈中的射频电流长生的涡旋场