第4章常用传感器原理和应用4-6.ppt

§4 电容式传感器 ;电容式传感器的主要优点为： 1. 结构简单、适应性强。 2. 需要的动作能量低，动态响应好。 3. 灵敏度高。 4. 动态响应快。 5. 适应性强。 6. 自热效应小，温度稳定性好。 7. 可实现非接触测量、具有平均效应。 电容式传感器的主要缺点有如下三点： 1. 寄生电容的影响较大。 2. 输出特性具有非线性。 3. 小功率、高阻抗。;四. 电容式传感器的工作原理 ; 由此可见，电容量是δ、S、ε的三元函数，当δ、S、ε某一个或几个参数发生变化，都会引起电容量C的变化，从而使输出电压或电流发生变化。实际制作电容式传感器时，常使δ、S、ε三个参数中的两个保持不变，仅改变其中的一个参数，且使变化的参数与被测量之间存在一定的函数关系，那么被测量的变化就可直接由电容量的变化反映出来。这就是电容式传感器的基本工作原理。;五. 电容式传感器的分类及结构;蓟砧地幽唾堤妙留捐忌挑玄肄阶鸣谊谅兔痪帘尼牧垫咖煎拜叮鄙馒晕壕造第4章常用传感器原理及应用4-6第4章常用传感器原理及应用4-6;图4.4.2 电容式传感器常见结构形式;六. 电容式传感器的静态特性;2. 变面积式电容传感器; ;3. 变介电常数式电容传感器;七. 电容式传感器的主要性能;采用差动式改善非线性特性;八. 电容式传感器的应用; 电容式传感器还可用来测量压力、压差、液位、料面、成分含量(如油、粮食中的含水量)、非金属材料的涂层、油膜等的厚度，测量电介质的湿度、密度、厚度等等，在自动检测和控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。差动电容式压力传感器测量范围可达50MPa，精度为±0.25%~±0.5%。电容式传感器厚度测量范围为几百微米，分辨力可达0.01urn。电容式接近开关不仅能检测金属，而且能检测塑料、木材、纸、液体等其他电介质，但目前还不能达到超小型，其动作距离约为10~20 mm。静电电容式电平开关是广泛用于检测储存在油罐、料斗等容器中各种物体位置的一种成熟产品。 当电容式传感器测量金属表面状况、距离尺寸、振动振幅时，往往采用单边式变极距型，这时被测物是电容器的一个电极，另一个电极则在传感器内。这类传感器属非接触测量，动态范围比较小，约为十分之几毫米左右，测量精度超过0.1μm，分辨力为0.01~0.001μm。; 电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感器元件，通过电容式传感器元件将被测物理量的变化转换为电容量的变化，再经转换电路转换为电压、电流或频率以达到检测目的的一种传感器。因此，凡是能引起电容量变化的有关非电量，均可用电容式传感器进行检测。其主要检测对象为：位移、振动、角度、加速度等机械量及压力、差压、液面、料面、成份含量等热工参量。 ;§5 压电式传感器 ;3. 压电式传感器的主要优缺点;二. 压电传感器的工作原理; 对某一具有压电性的电介质，当沿着一定的方向对其施力而使其变形时，其内部就会产生极化现象，同时其某些表面上将产生等量而异号的电荷(电荷量与作用力大小成正比)；当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态。这种现象称为(正)压电效应。 研究表明，正压电效应的产生是由于介质在外力作用下产生变形，而由变形产生电荷。因此，变形(S)是外力(F)与电荷(Q)之间的传递变量，外力所作机械功通过正压电效应转换成电场能，从而实现能量的传递。; 压电介质除具有正压电效应外，还具有逆压电效应。在压电介质的极化方向上施加电场时，压电介质的某些方向会产生正比于电场的变形，这种现象称为逆压电效应，或电致伸缩效应。 上述两种效应可简单表述为： 正压电效应：F→S→Q(E) 逆压电效应：E→S→F; 1. 石英晶体及其晶轴 石英晶体是最常用的压电晶体之一，其化学式为SiO2。它是二氧化硅单晶，属于六角晶系。其天然结构石英晶体的理想外形图为一规则的六角棱柱体，如图4.5.1(a)所示。 在晶体学中，可将石英晶体以三根相互垂直的轴来表示，这三根轴统称为晶轴，如图4.5.1(b)所示，其规定为： Z轴：又称为光轴，它与晶体的纵轴线方向一致。 X轴：又称为电轴，它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴。 Y轴：又称为机械轴，它垂直于六面体相对的两个棱面(与Z轴、X轴同时垂直)。;图4.5.1 石英晶体;2. 石英晶体的内部结构 ;3. 石英晶体的压电效应; (4) 仅受Y轴方向作用力时：此时类似于X轴受力的讨论， 为Y轴方向的拉力或压力使晶体所产生的形变分别与图4.5.3之(b)、(c)相同，由此可得结论：石英晶体沿Y轴方向受力时，仅在X轴方向产生压电效应，在Y、Z轴方向则不产生压电效应。这一压电效应称为“横向压电效应”。 (