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第卷第期摩擦学学报年月过氧化氢抛光液体系中钌的化学机械抛光研究储向峰王婕董永平乔红斌张王兵安徽工业大学化学化工学院安徽马鞍山摘要本文研究了过氧化氢抛光液体系中金属钌的化学机械抛光行为采用电化学分析方法和射线光电子能谱仪分析了氧化剂和络合剂对腐蚀效果的影响利用原子力显微镜观察抛光表面的微观形貌结果表明在过氧化氢抛光液体系中金属钌表面钝化膜的致密度和厚度与醋酸和的浓度有关抛光液中醋酸主要通过促进阳极反应的进行从而增强抛光液对金属钌的化学作用作为络合剂比三乙醇胺或酒石酸得到的抛光速率更高低浓度通过增强
第 ３２卷 第５期 摩 擦 学 学 报 Ｖｏｌ３２ Ｎｏ５
２０１２年９月 Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ Ｓｅｐｔ，２０１２
过氧化氢抛光液体系中钌的化学机械抛光研究
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