低倍显微物镜设计.docVIP

低倍显微镜头设计 在“5倍显微物镜的优化设计.pdf”中是一个5倍显微物镜的设计，用双胶镜实体化程序进行设计，并与之比较。 一 低倍显微物镜设计要求 以“D:\光学设计高级班\3 -- PWC法设计显微系统\2 -- 低倍显微镜头设计\5倍显微物镜的优化设计.pdf”要求做等效光路如“1-5倍显微物镜架构.ZMX ”，该光路是正常使用时的逆光路： 图1 二 光路设计要求 1 几何像差设计要求 几何像差要求见“光学设计—袁旭沧.pdf”，在上书241页是显微物镜设计要求，它与望远物镜公差算式一样： 令△===0.026 则最大口径球差 4△=0.1mm （见4-14式），最大剩余球差 6△=0.16mm（见4-16式）， 轴向色差（1H和0处） 2△=0.052mm （见4-18式）。 2 传函要求 2.1 分辨率线宽、RMS、GED关系 令分辨率线宽为d，由图2： 图2 据“光学设计指引贴4（对成像镜头设计质量的评估）”可知： d = RMS，GED = 3*RMS,则 d= GED /3。 现以最大球差 6△=0.16mm要求中心视场象质，转换到垂轴方向尺寸=2*（0.16*SIN8.46）=0.044 mm。它是最大弥散尺寸，即0.44=2*GED(GED=0.022 mm，d= GED /3=0.022/3 =0.0073。镜头分辨频率=1/(2*0.0073)=70 lp/mm。 三 棱镜初级像差 棱镜塞特和 注释 S1 S2 S3 S4 S5 CLA (CL) 入射面 1.1E-05 -2E-05 3.4E-05 0 -6E-05 -0.0001 0.0002 出射面 -2E-05 3.9E-05 -7E-05 0 0.00012 0.00023 -0.0004 之和 -1E-05 0.00002 -4E-05 0 6.4E-05 0.00012 -0.0002 表1 上面是 “1-5倍显微物镜.ZMX”查棱镜赛特和的结果，当用双胶镜实体化程序时，计算出的色像差与上表反号。 由于棱镜像差很小，为了使问题简化，认为全为零： 目镜像差目标与校正值 目标值 0 0 0 0 0 0 -0 设计值 0.0031 -0.00024 0.0021 0.0013 0 0 0 表2 参考“3-5倍显微系统架构实体化2.ZMX” 三 用单镜实体化操作集优化 将单镜实体化文件载入，经过指针平移处理（见“2-5倍显微系统架构实体化1.ZMX”），不用的双胶镜焦距改成很大（使其不影响追迹和计算像差），优化得“3-5倍显微系统架构实体化2.ZMX”。 由该文件得到5倍显微系统实体化文件“4-5倍显微物镜初步结构.ZMX”，其赛特和数如下表3： 由表3可见解出的结构初态赛特和已较小了。 表3 四 优化结果工艺评估 由表3见该系统初级像差都很小了。但还需进一步优化，得“1-5倍显微物镜3.ZMX”，其各项指标已达到要求，但虚拟材料需换成真实材料，为此在换成真实材料时，应确保胶合件三面焦距不变，换材料优化后得“5-5倍显微物镜优化结果.ZMX”，其公差分配如表4（底精度加工）： 表4 公差计算如表5 当以50 LP/mm频率进行公差计算时得: 表5 由公差计算结果可见，该显微镜头考虑工艺因素后，传函频率=70 lp/mm时，加工出的98%的镜头MTF=0.25(大于0.2的要求)。 五 小结 由上面计算可见，在设计过程中，最复杂的PWC分析求解过程，当引入了双胶镜实体化操作集后，变的最简单，且求解不易出错，解出的结果效果很好。 以前好的光学设计教程中，都介绍了各种典型镜头的PWC设计方法，由于不能实用化（复杂，计算效率底），因此绝大多数人都是大致了解一下，很少用它解决实际问题。现在可以认真研究和应用它们了，这可以极大提高光学设计的水平。 另外单镜，双胶镜实体化操作集的使用，应是非常灵活的，应从样例设计中加深体会。 祝愿光学设计同行能跨越镜头设计门槛！ 高国欣 2013年21日