招标规范-国家试验研究院.DOC

國家奈米元件實驗室 尾氣去除機台(Dry Scrubber)採購規範 目錄 　　頁次 一、 工作範圍 3 二、 招標規範 3 三、 保固：請得標廠商依下表保固 5 四、 其他 6 五、 注意事項 7 工作範圍 財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室奇美樓8樓化學實驗室之CIGS鍍膜設備。 招標規範 尾氣處理方式：利用填充於吸附桶之觸媒/吸附材料，分解/吸附半導體製程中共蒸鍍設備所產生的製程氣體及其副產物。 吸附桶能通過之最大流量要求：100L/min.。 吸附桶能處理之危害物質種類： 銅(Cu)蒸氣及其化合物 銦(In) 蒸氣及其化合物 鎵(Ga)蒸氣及其化合物 硒(Se)蒸氣及其化合物 吸附桶出口危害氣體濃度要求： （A）危害物質皆小於TLV （B）硒化氫（SeH2）低於0.05ppm 吸附劑填充量要求：大於80L之吸附填充 尾氣去除裝置內部管路（含吸附桶）材質/耐壓要求：304以上之渥斯田鐵系不銹鋼材料，耐壓須達 3kg/cm2(錶壓)，連續24小時壓力讀值不下降。 電子式壓力計偵測輸入端壓力。 吸附桶系統自動切換至旁通系統之觸發壓力：0.5bar(錶壓) 旁通管路功能要求：連接著吸附桶的入口與出口端，其入口氣動型球閥是保持在關閉的狀態，如果超越上開壓力時，分流系統將經由氣動方式被打開，使受到之壓縮的氣體能排到出口端。一個充填了藥劑的小型吸附桶裝置在分流閥之後端，以避免危險性氣體直接外洩。 尾氣濃度偵測裝置要求： （A）硒化氫（SeH2）偵測器，使用理研計器（Riken Keiki）或同級品，需附型錄審查。 （B）Scrubber端需加裝尾氣濃度偵測裝置，機台周圍環境區域裝設偵測器，本採購案裝設兩台偵測器。 （C）環境區域偵測器需安裝三色（紅、綠、黃）警報燈。 （D）Scrubber所屬內部偵測器與環境點偵測器需由得標廠商負責相關安裝與測試。 裝置入出口銜接方式：NW 40 KF flange，由得標廠商安裝，可撓曲不銹鋼Bellow管亦由得標廠商提供。 裝置箱體及其維修空間可容許大小：高度1.7m，寬度0.8m，維修時寬度1.0m，深度0.7m，維修時深度1.2m。 箱體排氣孔徑要求：口徑需達到4英吋。 裝置用電要求：三相208V，耗電量＜100W，頻率60Hz，接地電阻＜100Ω；相關接線由得標廠商負責。 人機控制介面要求： （A）觸控式螢幕。 （B）具密碼保護功能：可依系統觀看、使用者、維護者等工作模式設定不同層級之密碼。 （C）歷史記錄：可記錄並查詢錯誤訊息、入/出口壓力、尾氣排放濃度等歷史記錄。 警報功能要求： 須俱備綠、黃、紅三色之警報燈。 須具備手動關斷之EMO按鈕。 警報作動應包含下列功能： 狀況 燈號動作 Power Off時 無燈號 Power On，且無異常狀況 綠燈常亮 入口Pressure達到High 黃燈亮 入口Pressure達到High-High 紅燈亮 Bypass Open 紅燈亮 尾氣去除機台末端SeH2 Detector測得讀值0.05ppm 紅燈亮 環境點SeH2 Detector測得讀值0.05ppm 無異常狀況時綠燈亮 第一階段黃燈亮 第二階段紅燈亮 保固：請得標廠商依下表保固 項目 保固期限 零件明細 一般保固 一年 Blower，Electrical Valve，Ball Valve，Manual Valve，Power Supply，Electrical Parts，Circuit Breaker，Circuit Protector，Buzzer，Keep Relay，Auxiliary Relay，Illuminating Button，PLC Unit，Interface Touch Screen、gas detector (including Calibration)。 特別保固 兩年 Column，Miniabsorber，SUS Piping Parts * Exception： Flexible parts made of SUS are treated as consumable parts 耗材料件 無 Catalyst Gas Detector Sensor Flexible Parts made of SUS 其他 尾氣處理示意圖(僅供參考) 注意事項 （1）本案須求之儀器及其零件須為2009年後出廠之新品。 （2）承包廠商於投標前應至現場勘查並與本實驗室充分溝通，且依照本實驗室意見、需求評估再參與投標，於得標後依照本實驗室意見、送審核可文件及需求施作，並不得以任何理由要求追加預算。系統安裝、測試驗收教育訓練等作業。驗收時按採購項目之說明內容逐項點檢、驗收，並提出品質檢驗證明文件。 財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗