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招标规范-国家试验研究院
國家奈米元件實驗室
尾氣去除機台(Dry Scrubber)採購規範
目錄 頁次
一、 工作範圍 3
二、 招標規範 3
三、 保固:請得標廠商依下表保固 5
四、 其他 6
五、 注意事項 7
工作範圍
財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室奇美樓8樓化學實驗室之CIGS鍍膜設備。
招標規範
尾氣處理方式:利用填充於吸附桶之觸媒/吸附材料,分解/吸附半導體製程中共蒸鍍設備所產生的製程氣體及其副產物。
吸附桶能通過之最大流量要求:100L/min.。
吸附桶能處理之危害物質種類:
銅(Cu)蒸氣及其化合物
銦(In) 蒸氣及其化合物
鎵(Ga)蒸氣及其化合物
硒(Se)蒸氣及其化合物
吸附桶出口危害氣體濃度要求:
(A)危害物質皆小於TLV
(B)硒化氫(SeH2)低於0.05ppm
吸附劑填充量要求:大於80L之吸附填充
尾氣去除裝置內部管路(含吸附桶)材質/耐壓要求:304以上之渥斯田鐵系不銹鋼材料,耐壓須達 3kg/cm2(錶壓),連續24小時壓力讀值不下降。
電子式壓力計偵測輸入端壓力。
吸附桶系統自動切換至旁通系統之觸發壓力:0.5bar(錶壓)
旁通管路功能要求:連接著吸附桶的入口與出口端,其入口氣動型球閥是保持在關閉的狀態,如果超越上開壓力時,分流系統將經由氣動方式被打開,使受到之壓縮的氣體能排到出口端。一個充填了藥劑的小型吸附桶裝置在分流閥之後端,以避免危險性氣體直接外洩。
尾氣濃度偵測裝置要求:
(A)硒化氫(SeH2)偵測器,使用理研計器(Riken Keiki)或同級品,需附型錄審查。
(B)Scrubber端需加裝尾氣濃度偵測裝置,機台周圍環境區域裝設偵測器,本採購案裝設兩台偵測器。
(C)環境區域偵測器需安裝三色(紅、綠、黃)警報燈。
(D)Scrubber所屬內部偵測器與環境點偵測器需由得標廠商負責相關安裝與測試。
裝置入出口銜接方式:NW 40 KF flange,由得標廠商安裝,可撓曲不銹鋼Bellow管亦由得標廠商提供。
裝置箱體及其維修空間可容許大小:高度1.7m,寬度0.8m,維修時寬度1.0m,深度0.7m,維修時深度1.2m。
箱體排氣孔徑要求:口徑需達到4英吋。
裝置用電要求:三相208V,耗電量<100W,頻率60Hz,接地電阻<100Ω;相關接線由得標廠商負責。
人機控制介面要求:
(A)觸控式螢幕。
(B)具密碼保護功能:可依系統觀看、使用者、維護者等工作模式設定不同層級之密碼。
(C)歷史記錄:可記錄並查詢錯誤訊息、入/出口壓力、尾氣排放濃度等歷史記錄。
警報功能要求:
須俱備綠、黃、紅三色之警報燈。
須具備手動關斷之EMO按鈕。
警報作動應包含下列功能:
狀況 燈號動作 Power Off時 無燈號 Power On,且無異常狀況 綠燈常亮 入口Pressure達到High 黃燈亮 入口Pressure達到High-High 紅燈亮 Bypass Open 紅燈亮 尾氣去除機台末端SeH2 Detector測得讀值0.05ppm 紅燈亮 環境點SeH2
Detector測得讀值0.05ppm 無異常狀況時綠燈亮
第一階段黃燈亮
第二階段紅燈亮 保固:請得標廠商依下表保固
項目 保固期限 零件明細 一般保固 一年 Blower,Electrical Valve,Ball Valve,Manual Valve,Power Supply,Electrical Parts,Circuit Breaker,Circuit Protector,Buzzer,Keep Relay,Auxiliary Relay,Illuminating Button,PLC Unit,Interface Touch Screen、gas detector (including Calibration)。 特別保固 兩年 Column,Miniabsorber,SUS Piping Parts
* Exception: Flexible parts made of SUS are treated as consumable parts 耗材料件 無 Catalyst
Gas Detector Sensor
Flexible Parts made of SUS 其他
尾氣處理示意圖(僅供參考)
注意事項
(1)本案須求之儀器及其零件須為2009年後出廠之新品。
(2)承包廠商於投標前應至現場勘查並與本實驗室充分溝通,且依照本實驗室意見、需求評估再參與投標,於得標後依照本實驗室意見、送審核可文件及需求施作,並不得以任何理由要求追加預算。系統安裝、測試驗收教育訓練等作業。驗收時按採購項目之說明內容逐項點檢、驗收,並提出品質檢驗證明文件。
財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗
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