pd-ag合金膜拉锥光纤h2敏传感器研究 technique study of a tapered fiber hydrogen sensor based on pd-ag alloy thin film.pdfVIP

光电子·激光 第18 卷第3 期 2007 年3 月 Journal of Optoelectronics ·Laser VoI. 18 No. 3 Mar. 2007 ! Pd-ag 合金膜拉锥光纤H2 敏传感器研究! 1 ! 2 胡建东 ，林志立 （1. 河南农业大学电气工程系，河南郑州450002 ；2. 浙江大学光电信息工程系，浙江杭州310027 ） 摘要：采用熔融拉锥机，制作了具有均匀腰锥的H2 敏传感器结构。拉锥长度设定为9 000 !m，拉锥速度0. 1 mm/ s，火焰高度为3 mm，拉锥后光纤的腰锥体处的均匀直径为30 !m。用电子束蒸发装置在拉锥光纤均匀锥