pld法制备高介电调谐率的纳米晶bzt薄膜 high dielectric tunability of nanocrystalline ba(zrxti1-x)o3 thin films prepared by pulsed laser deposition.pdfVIP

第26卷第l期 电 子 元 件 与 材 料’ v01．26No．1 CoMPONENTSANDMATERIALS Jan．2007 2007年1月 ELECTRoNIC PLD法制备高介电调谐率的纳米晶BZT薄膜 唐新桂1一，梁建烈1，农亮勤1，熊惠芳2，陈王丽华3 (1．广西民族大学物理与电子工程学院，广西南宁530006；2．广东工业大学物理与光电工程学院，广东广州 510006；3．香港理工大学应用物理系，香港九龙) 退火lO 别为50nm和60nm。在室温、1 的诱导，即(111)Pt3Ti和(111)BzT的晶格匹配。 关键词：无机非金属材料；锆钛酸钡薄膜；脉冲激光沉积；柱状晶粒；介电调谐特性；探测优值 ’