l制造高压器件容差阶梯台面腐蚀技术.pdfVIP

3；If- 、 I 制造高压器件的容差阶梯台面腐蚀技术 国营东光电器厂 (湖北荆门434501) 国匕凤兵 东 南 大 学 孔德平 _『 ·乙 1992年4月2O日收到 摘要：本文介绍一种新型的高压器件表面遣型技术，即容差阶梯台面腐蚀技术。它 是在耗尽刻蚀的基础上发展起来的。它利用耗尽刻蚀克服 电场集中和表面效应的机理， 采用常规工艺，通过两次基区扩散、两次台面腐蚀形成阶梯结和阶梯台面，降低耗尽刻 蚀对腐蚀深度的控制要求，使器件具有小角度 负斜角的优 良特性，同时采用内台面结构， 便于玻璃钝化，使器件具有高性能和高可靠性。 1引言 便可行的、国内常规工艺可以实现的、更适合 制造高压器件必须选