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高速率、低价位、智能化3c光网络呼唤si基化、集成化soc芯片 si based integrated soc chipthe key of high-speed,low-cost and smart 3c optica network

! # ·$ ! 第 18 卷 第 3 期 Z007 年 3 月 Vol. 18 No. 3 Mar. Z007 Journalo O toelectronics Laser f p ! ! 硅基 光 子 学 、 、 “ ” 、 高速率 低价位 智能化 3C 光 网络呼唤 Si基化 集成 化 SOC芯片 ! # ( 9 9 ) 集成光 电子 国家重点联合实验室 中国科学 院半导体研究所 北京 100083 : 9 9 9 9 9 摘要 Si 是微 电子发展 的无可替代基质材料 取之不尽 工艺成熟 立 足 于 Si 基材料 发展光 网络 SOC 芯 片 是 o 9 9 o 突破上述 困扰 的重要途径 然而 Si 属 间接带 隙 又为立方反演对称 的非极性材料 不具优异 的天然光学特性 9 \ \ \ 人工改性是突破 Si 材料本征 限制 的根本 出路 能带工程 纳米工程 局域化工程 光子工程 以及声子工程 的综合 9 9 9 \ 运用 有望实现 Si 基化全光波长变换器 高速率全光开关乃至 Si 基激光器 为 Si 基化 集成化光 网络 SOC 芯片 9 o 的发展奠定基础 并将开拓 出一 门崭新 的 Si 基集成光子学 : ; ; ; ; ; 关键词 硅基材料 集成芯片 人工改性 能带工程 局域化工程 纳米工程 中图分类号 # 文献标识码 文章编号 ( ) T

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