电子枪蒸镀机使用流程.DOCVIP

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2017-08-21 发布于天津
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电子枪蒸镀机使用流程.DOC

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电子枪蒸镀机使用流程

檢查製程水電氣是否供應正常 1. 開啟冰水主機 2. 廠務二次配冷卻水。 3. 廠務二次配送CDA及製程氣體。 4. 廠務二次配送電。 5. 確認空壓、製程氣體及冷卻水供應是否充足。製程步驟 1. 將系統電源面板的無熔絲開關向上扳至ON的位置。 2. 將E-Gun電源及E-Gun電壓控制器向上扳至ON的位置，檢查各控制儀器是否正常。 3. 於人機介面登錄使用者別。 4. 點選人機界面的異常顯示按鈕，觀察是否有異常訊號顯示及警報聲響。 5. 進入E-Gun介面。 6. 點選MAN開啟機械幫浦(MP)及FV閥。 7. 確認真空計B壓力，開啟渦輪幫浦(TB)。 8. 腔體破真空，清潔腔體並置入晶片，及檢視坩鍋內材料是否過少(需九分滿)。 9. 開啟膜厚偵測器，檢查振盪片是否在70﹪以上及設定欲鍍之材料密度與材料阻抗。 10.關閉腔門，啟動自動抽氣流程(Auto)。 11.開啟Ion gauge確認腔體壓力。 12.開啟E-Gun面板電源(ON)。 13.調整電壓與電流。 14.調整電子束位置(X、Y軸)。 15.待材料熔融，開啟檔板(SH ON) 16.開始沉積製程。 17.沉積完成後，關閉檔板(SH OFF)、電流與E-Gun面板電源(OFF)。 18.靜待10分鐘，使E-Gun冷卻。 19.腔體破真空，取出晶片並清潔腔體。 20.將腔體抽至真空，並依序關閉渦輪幫浦、FV閥及機械幫浦。 21.確認人機介面顯示所有pump及閥門為關閉之狀態。 22.將E-Gun電壓控制器及E-Gun電源向下扳至OFF的位置。 23.將系統電源面板的無熔絲開關向下扳至OFF的位置。 24.廠務二次配關閉氣體。 25.廠務二次配斷電。 26.關廠務二次配冷卻水。 27.完成 1 2 3 4 5 6