炭化硅微粉切割.docVIP

炭化硅微粉的切割 ? 炭化硅微粉是最主要的用于多线切割机上的磨料之一，适合于切割比较硬而且脆的材料。线切割是由导轮带动细钢线高速运转，由钢线带动砂浆形成研磨的切割方式。在线切割机的切割过程中，悬浮液夹裹着炭化硅磨料喷落在细钢线组成的线网上，依赖于细钢线的高速运动，把研磨液运送到切割区，对紧压在线网上的工作进行研磨式切割，随着炭化硅末了对工件的一次次刻划，逐渐把多余的材料带走，是一种类似于研磨的滚动刻划的方法，这种机械也被称为：自由研磨切割加工。 ? 切削的主要因素 由悬浮液以及炭化硅组成的砂浆中炭化硅的切割能力、细钢线的张力、细钢线运行速度和工件进给速度（工件紧压在细钢线上的下降速度）是影响刻划的主要因素。细钢线的高度运动促使悬浮液携带着带有菱角的炭化硅颗粒以不断滚动的方式进入切割区，从而产生很强切削能力，而且由于细钢线上加有一定的张力，使炭化硅磨料一般只沿钢线运动的方向逐渐对工件进行一次次刻划，使工件沿细钢线的缝隙被切成一个个薄片，炭化硅磨料对细钢线侧向影响很小，所以薄片表面并看不到切割痕迹。 ? 机械参数对晶片切割的影响 控制晶片质量的四个重要参数：钢线的张力、钢线的运动速度、工件的进给速度、砂浆切割能力。 ? （1）钢线的张力 钢线张力的产生机构是由两条带有力矩马达或配重的两条张力臂组成的，是一个由PLC控制反馈系统，以便适当地控制钢线的张力。一般钢线的张力对切割的影响主要