基于stm的原子力显微镜的设计及应用 design and application of an stm-based afm.pdfVIP

第25卷第1期 电 子 显微 学报 Vol一25．No1 2006年2月 ofChineseElectron 2006—2 Journal MicroscopySociety 文章编号：1000—6281(2006)01—0026—04 基于STM的原子力显微镜的设计及应用 何光宏1，张志津2，彭光含3，白海会1，杨学恒1“ (1重庆大学数理学院，重庆400044；2天津商学院，天牢300134； 3湖南文理学院物电系，湖南常德415000) 摘 要．原子力显微镜由于不受物质导电性的限制，已经成为纳米检测和加工的重要手段之一。本文介绍了根据 隧道效应检测微悬臂位移的原理自制的原子力显微镜系统，重点讲述了镜体结构及特点。测试结果表明该仪器具 有原子量级的分辨率。最后还给出了用该原子力显微镜检测到的几幅试样的三维表面形貌图。 关键词·原予力显微镜，扫描隧道显微镜，微悬臂 中图