基于微纳米尺度光热膨胀的微型光热驱动器研究 study of new photothermal microactuator based on micronano scale photothermal expansion.pdfVIP

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2017-08-21 发布于上海
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基于微纳米尺度光热膨胀的微型光热驱动器研究 study of new photothermal microactuator based on micronano scale photothermal expansion.pdf

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基于微纳米尺度光热膨胀的微型光热驱动器研究 study of new photothermal microactuator based on micronano scale photothermal expansion

巍电子·馓提 of V01．19No．8 第19卷第8期2008年8月 Joumal Aug．2008 Optoelectr仰ics·La辩r ·光电子器件和系统· 基于微纳米尺度光热膨胀的微型光热驱动器研究* 刘超，张冬仙～，章海军 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州310027) 摘要：用准分子加工系统制备了长度1ITⅡIl的微型光热驱动器，用红光半导体激光(650衄)作为驱动源进行了驱动实验。结果表明，直接用激光束驱动可产生微米级偏转，激光束聚焦质量无严格限制，激光束在膨胀臂上的照射位置对偏转量不会造成明显影响。偏转量可调，当激光功率从O耐w增大到10lI·w时，微型光热驱动器的偏转量可从。脚增大到14．33肿。本方法简单易行，可独立驱动运作，易于小型化，真正实现无线遥控操作。关键词：光热膨胀；激光；微驱动器；偏转中图分类号：TH703文献标识码：A 文章编号：100争0086(2008)08-1003．04 of llli州眦tlmt所based伽IIlia叫眦∞Scale sh丘Iyne’’，pl斌oth鲫fIIal phototh删 a呻硼两叽 U[U Chao，ZHANG Haj-j吼 DoIlg-妇an一，ZHANG of (State M。d锄0lmcal 310027，C=llim) KeyLab0咖ry Inst丌ln娜ts，办西i锄gUri邺时，Hangdlou 1 Aht用d：ArIIiaoacnmtorw-th000 waBm龇lufactured pmlefIgth by锄旬叱im盯laser加ic阳m觚岫flgs)吲．舶usiI珥sillgle activatethe las盯diode(650 n血To咀ct啦lt()r．E)q)eri— lay盯rr蚍e札A nrn)w弱唧layed鸹tl砖e，cte州pow盯s。llr∞t0 m即tshave_be盯l睫而edouttockktIle denecti∞．Tller酋ultsshowtIlatthe fea曲ili可0f actu呦r锄prac吐callyg∞emte 锄0l丽ous si捷andt11e10(“叽ofmem池ted defl代面on la_teraI耐1ecti∞wit】删t∞nsi‘i甜I唱me hghtspot删ctly-TIle statIlsoftlle耐croact∞toroDuldbe oDn缸Dlled徊[110telyfmOpmt014．33岫bycllarlgiIlgthelaserpaw盯fromO耐Wt0 lTli口∞|ctuatoriS a11d娜“饥tfof beII】i11ianl蒯 10疵W．This弘Dposedp}10to【t1砣fmal q血e蚰【Ilpk op