全息三维聚合物光子晶体的制备及其光学特性研究 fabrication of holographic 3-d polymeric photonic crystals in near-infrared band and the study for optical property.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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全息三维聚合物光子晶体的制备及其光学特性研究 fabrication of holographic 3-d polymeric photonic crystals in near-infrared band and the study for optical property.pdf

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全息三维聚合物光子晶体的制备及其光学特性研究 fabrication of holographic 3-d polymeric photonic crystals in near-infrared band and the study for optical property

光电子：激辫 of 9No．5 2008 第19卷第5期2008年5月 JournalOptoelectronics·Laser V01．1 May 全息三维聚合物光子晶体的制备及其光学特性研究* 张飒飒1’2一，王青圃1，张行愚1，陈佳琦2，王丽2 (1．山东大学信息科学与工程学院，山东济南250100；2．美国德州大学奥斯汀分校电子与计算机工程系，Aus— t缸。TX 78731) 摘要：利用等边棱镜全息法在负光刻胶SU8中制备了三维面心结构聚合物光子晶体，给出了一种能保持晶体结构稳定可靠的处理方法，扫描电子显微镜的显微结果证实了实验所得结构的可靠性。傅里叶变换红外光谱仪获得的透射和反射光谱则表明，所制备的晶体结构与计算机模拟结果一致。关键词：三维全息；聚合物光子晶体；He-Cd连续激光；SU8负光刻胶；亚微米；衍射；面心立方结构中图分类号：0743文献标识码：A 文章编号：1005—0086(2008)05—0640-04 Fabricationof 3-D innear-infraredbandand polymeric holographic photoniccrystals the for studyopticalproperty ZHANG Li2 Sa-sal。一，WANG Qing-pul，ZHANGXing-yul，CHENJia-qi2，WANG ofInformation (1．College ScienceEngineering，ShandongUniversity，Jinan，Shandong250100，China；2．Depart— mentof Texas of atAustin，Austin，Tx78731，USA) ElectricalComputerEngineering，TheUniversity Abstract：The3一D isfabricatedin hol— face-centered-cubic(FCC)typepolymerphotoniecrystal negativephotoresist．byphsm hasbeen to the fabricatingtreatment givenmakesure ofthefabricatedareananostructures．The ographieSpecial stability andthediffractionresultstestifiedthe the ofthe SEM good of fabricatedstructures．Thesimulationpartial dependability bandstructureisin thetransmissionandreflectionobtai