原创力文档图像对准系统中提高精度的软件补偿技术 software compensation techniques for accuracy improvement in alignment system based on digital image.pdfVIP
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图像对准系统中提高精度的软件补偿技术 software compensation techniques for accuracy improvement in alignment system based on digital image
第38卷第9期 光电工程 V01．38，No．9
20l1年9月 Opto-ElectronicEngineering Sept，2011
文章编号：1003—501X(2011)09—0040—06
图像对准系统中提高精度的软件补偿技术
王权岱1,2，肖继明1，李鹏阳1
(1．西安理工大学机械与精密仪器丁程学院，西安710048；
2．西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，西安710049)
摘要：本文根据分层制造对准系统的精度要求，研究了改善精度的软件补偿措施：设计了SUSAN和多帧平均降
噪结合的无损滤波算法以减小滤波过程对标记图像产生的畸变；以频域能量谱函数作为系统的聚焦测度函数实现
自动聚焦，消减了由离焦引入的对准误差；以校正残差均方差的大小和稳定性为依据确定了三次多项式畸变模型，
校正后畸变引入标记定位误差小于0．25岬；通过对摆动轨迹的拟合和误差补偿使系统机械不稳定性造戍的对准
精度损失小于1．3岫。通过Delphi和Matlab混合编程完成了上述功能的软件实现和集成．
关键词：对准系统；误差；软件补偿；功能集成
中图分类号：TN247；TP391 文献标志码：A
Software for in
AccuracyImprovement
CompensationTechniques
Basedon
AlignmentSystem DigitalImage
WANG
Quan-dail一，XIAOJi—min91，LIPeng．yan91
(1．School Instrumental UniversityofTechnology，Xian710048，China；
ofMechanicalEngineering,Xi．口，l
2．State 10049，China)
KeyLaboratoryfo，ManufacturingSystemsEngineering,XianJiaotongUniversity，m锄7
Abstract：Thesoftware are to the inthe
compensation investigatedimprovealignmentaccuracyalignment
techniques
for withlittle on combinesthe
systemlayeredmanufacturingprocess．Thefilteringalgorithm degradationimage，which
SUSANwithmulti·flame introducedtoalleviatethemark distortionduetothe
averaging，is image filteringprocessing．
theauto·focus
ThefocusmeasurefunctionbasedonPower in
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