图形蓝宝石基gan性能的研究 study of gan properties grown on patterned sapphire substrate.pdfVIP

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图形蓝宝石基gan性能的研究 study of gan properties grown on patterned sapphire substrate

第32卷第2期 电子器件 v01.32No.2 0fEkctmn蜥嘴 2009年4月Q血雠J哪l Apr.2009 ofGaN Substrate。 Study Properti昭Grown蚰Pattemed Sapphire PENG Yk—f^“以,ZHENG H口起一沈咒’ Dong.5I}lP咒g’,FENG R“i一如鲫g,N,U (白ZZ昭Po,opf叩£fff聊l缸朋gi竹卵ri玎g,S^删抽删L肠f俚邶f眇,勘聊班即518060,CIli船) Abst内ct:Theeffectsof tirnefor substrateon(诸N have pretreatedSapphire beenstudied,under opticalproperties theSarTleetched are transmiSsionaIld ter珥)eratmEpmpe_niesanalyzed room 0ptical by spe!ct门lm temperaturepho- toluHlinescence the are double diffrac- spectrum,andcrystalpropertiesandyzedby11igh_resolutioncrystalx_ray resultsin凼catest}la【tthe and tion,these 0f(hNfilms on substrate opti∞lcrystalquality gIIOIⅥmpretreatedsapphire for50minutesisthe thefull埘dthsat the beSt,inⅥmich half眦菇mum(WmMs)ofx.raydif缸心ionc愀sin areaslowas208.80arcsecand320.76 (0002)planeand(10-12)plane acrsec,theyellowl啪inescenceisnearly in访siblein the FWHIⅥof isdecreasedto the photol删nI络cenoespect门lm,the photolumin戗;cence 6.7啪,aIld tranSmiSSionratioandthe canbes}lownin n越ulation thetransmiSsion highest greateSt depth spectn】m Keywo代Is:GaNfilms;properties;surfacetreated;MOCVD EEAOC:0520 图形蓝宝石基GaN性能的研究*

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