位置敏感探测器的动态响应误差分析 analysis on the dynamic response error of position sensitive detector.pdfVIP

位置敏感探测器的动态响应误差分析 analysis on the dynamic response error of position sensitive detector.pdf

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位置敏感探测器的动态响应误差分析 analysis on the dynamic response error of position sensitive detector

! # ·$ ! 第 17 卷 第 11 期 Z006 年 11 月 VOl. 17 NO. 11 NOv.Z006 Journalo O toelectronics Laser f p 位置敏感探测 器的动态 响应误差分析 尚鸿雁 海 海 大学 电气 自 化 系 上 事 动 上 海 Z00135 摘 要 针对 光 源 连续 扫 描位 置 敏感 器 PSD 时产 生 的动 态 响应 误 差 随扫 描 条 件 不 同发 生 的变 化 基 于 一 维 PSD 动 态 响应 模 型 建 立 光 源 扫描 照射 下 的 PSD 动 态 响应 误 差 模 型 仿 真 分 析 得 到 了不 同扫 描 起 点 位 置 和速度 下 的 PSD 动 态 响应 误 差 分 布 5 个 特 点 建 立 了一 维 PSD 动 态 响应 误 差 的估 算 模 型 通 过 对 4 种 常用 的一 维 PSD 器 件 进 行 仿 真 验证 了估 算 模 型 的正 确性 关 键 词 位 置 敏感 器 PSD 动 态 响应 误 差 起 点位 置 扫描 速度 估 算 模 型 中图分 类 号 ! 文 献标 识码 ! 文章 编 号 ! T~703.Z A 1005-0086 Z006 11-1333-06 Anal sisOn the D namic Res OnseErrOr Of POsitiOn Sensitive DetectOr y y p S~ANG ~On - an g y De artment Of Electrical En ineerin and AutOmatiOn Shan hai Maritime Universit Shan hai Z00135 p g g g y g China Abstract the d namic res onseerror

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